[实用新型]一种便于晶圆取放的装置

权利要求书

1.一种便于晶圆取放的装置，其特征在于，包括：

底座(1)，所述底座(1)的上表面设置有支脚(11)，所述支脚(11)用于支撑晶圆盒(2)；

挑板(3)，所述挑板(3)包括水平板(31)和倾斜板(32)，所述水平板(31)位于所述底座(1)与所述晶圆盒(2)之间，所述水平板(31)的上表面能够与晶圆的下端相抵，所述水平板(31)的第一端为自由端，所述水平板(31)的第二端与所述倾斜板(32)的第一端连接，所述倾斜板(32)的第二端为自由端，所述倾斜板(32)与所述水平板(31)之间的夹角为90-120°。

2.根据权利要求1所述的便于晶圆取放的装置，其特征在于，所述挑板(3)还包括压板(33)，所述压板(33)的第一端与所述倾斜板(32)的第二端连接，所述压板(33)的第二端为自由端，所述压板(33)与所述水平板(31)之间的夹角为0-45°，所述压板(33)与所述水平板(31)位于所述倾斜板(32)的两侧。

3.根据权利要求2所述的便于晶圆取放的装置，其特征在于，所述水平板(31)、所述倾斜板(32)和所述压板(33)一体成型。

4.根据权利要求1所述的便于晶圆取放的装置，其特征在于，所述水平板(31)的上表面设置有与所述晶圆配合的第一三角形凹槽，所述第一三角形凹槽沿所述水平板(31)的长度方向开设。

5.根据权利要求4所述的便于晶圆取放的装置，其特征在于，所述倾斜板(32)上设置有与所述第一三角形凹槽连通的第二三角形凹槽，所述第二三角形凹槽沿所述倾斜板(32)的长度方向开设。

6.根据权利要求1所述的便于晶圆取放的装置，其特征在于，还包括弧形限位板(4)，用于限位所述水平板(31)，

所述弧形限位板(4)罩设在所述水平板(31)的第二端，所述弧形限位板(4)的开口端与所述底座(1)连接。

7.根据权利要求6所述的便于晶圆取放的装置，其特征在于，所述挑板(3)和所述弧形限位板(4)为PVA板、PVDF板或者PP板。

8.根据权利要求1所述的便于晶圆取放的装置，其特征在于，所述支脚(11)为立方体形支脚，所述支脚(11)上开设有凹槽，所述凹槽的内壁能够与所述晶圆盒(2)的侧壁贴合。

9.根据权利要求1所述的便于晶圆取放的装置，其特征在于，所述支脚(11)与所述底座(1)螺栓连接，所述支脚(11)上开设有第一螺纹孔，所述底座(1)上开设有与第一螺纹孔位置对应的第二螺纹孔，所述支脚(11)与所述底座(1)通过与所述第一螺纹孔和所述第二螺纹孔配合的螺栓连接。