[实用新型]一种真空镀膜机金属料带调整机构有效

专利信息
申请号: 202021543900.8 申请日: 2020-07-30
公开(公告)号: CN212894963U 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 王建强 申请(专利权)人: 昆山文之徕电子科技有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/54
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 金属 调整 机构
【说明书】:

实用新型公开了一种真空镀膜机金属料带调整机构,包括真空室,所述真空室的内侧壁两侧分别通过螺栓固定连接有第一调整架与第二调整架,所述真空室的外侧壁对应第一调整架与第二调整架的位置分别开设有第一调整槽与第二调整槽。本实用新型中,驱动电机通过带动相邻一侧的第二斜齿轮与传动齿轮转动,使两侧的传动螺杆同时带动两侧的螺纹套向真空室的一侧移动,从而使调整托辊接住金属料带的首端,同时驱动电机逐渐带动调整托辊向着固定托辊与第二调整架移动,以便于辅助金属料带首端向第二调整槽处的移动,当金属料带的末端逐渐向真空室移动时,驱动电机重复以上的步骤,从而便于避免金属料带发生弯曲形变。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,尤其涉及一种真空镀膜机金属料带调整机构。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

目前,现有的真空镀膜机上配备的真空室并不能对金属料带的首端与末端进行引导,从而金属料带在经过真空室时其首段与末端进行会脱离调整装置,进而使其首段与末端发生不必要的形变。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种真空镀膜机金属料带调整机构。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种真空镀膜机金属料带调整机构,包括真空室,所述真空室的内侧壁两侧分别通过螺栓固定连接有第一调整架与第二调整架,所述真空室的外侧壁对应第一调整架与第二调整架的位置分别开设有第一调整槽与第二调整槽,所述真空室的内侧壁靠近第二调整架的一侧转动连接有固定托辊,所述真空室的内侧对齐固定托辊的位置设置有调整托辊,且调整托辊位于第一调整架与固定托辊之间,所述调整托辊的底侧设置有支撑架,所述支撑架的底侧设置有辅助滚轮,所述真空室的内底侧对应辅助滚轮的一侧开设有限位滑槽,且限位滑槽与辅助滚轮之间嵌入滑动连接,所述支撑架的外侧壁两端靠近第二调整架的一端均固定连接有传动杆,且传动杆贯穿真空室的内侧壁延伸至外侧,两个所述传动杆远离支撑架的一端共同固定连接有连接架,所述连接架的外侧壁靠近真空室的一侧两端均固定连接有螺纹套,两个所述螺纹套均螺纹连接有传动螺杆,两个所述传动螺杆远离螺纹套的一端均固定连接有第一斜齿轮,两个所述第一斜齿轮的底侧均啮合连接有第二斜齿轮,两个所述第二斜齿轮的底侧均固定连接有传动齿轮,两个所述传动齿轮共同啮合连接有传动链条。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述真空室的顶侧通过铰链转动连接有固定盖。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述真空室的顶端边缘处固定连接有第一密封胶垫。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述真空室的外侧壁对应两个传动杆的位置均固定连接有第二密封胶垫,且传动杆与第二密封胶垫之间嵌入滑动连接。

作为上述技术方案的进一步描述:

两个所述第一斜齿轮、两个第二斜齿轮、两个传动齿轮的外侧共同设置有固定罩,且第一斜齿轮、第二斜齿轮、传动齿轮均与固定罩之间转动连接。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述固定罩的顶端固定连接有驱动电机,且驱动电机输出端与相邻的第一斜齿轮之间固定连接。

本实用新型具有如下有益效果:

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山文之徕电子科技有限公司,未经昆山文之徕电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021543900.8/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top