[实用新型]一种微波腔体组件

权利要求书

1.一种微波腔体组件，用于加工石英反应管(5)，所述石英反应管(5)内设有等离子体负载(6)，其特征在于，所述微波腔体组件包括：

谐振腔壳体(1)，其开设有圆柱形谐振腔(10)，所述谐振腔壳体(1)底部开设有一波导入口(11)；

耦合装置，其包括具有第一耦合孔的耦合波导(2)和具有第二耦合孔的立柱波导(3)，所述耦合波导(2)一端与所述波导入口(11)连通，另一端与所述立柱波导(3)连通，且所述立柱波导(3)位于耦合波导(2)下方；

所述第一耦合孔的尺寸小于所述第二耦合孔尺寸，且所述第一耦合孔的尺寸被配置为使负载反射系数S₁₁持续保持不大于第一阈值。

2.如权利要求1所述的微波腔体组件，其特征在于，所述第一耦合孔的截面呈矩形，矩形的长边W被配置为：1/4λW1/2λ，矩形的短边Hc被配置为：1/8λHc1/4λ，λ为微波在真空中的波长。

3.如权利要求1所述的微波腔体组件，其特征在于：所述谐振腔壳体(1)为圆柱型谐振腔壳体(1)，所述耦合波导(2)和立柱波导(3)均为矩形波导；

所述耦合波导(2)平行于谐振腔壳体(1)轴向的两个外侧壁均设有连接凹槽(20)，且每个侧壁均设有两个平行于谐振腔壳体(1)轴向的连接凹槽(20)；

所述谐振腔壳体(1)通过设置于其邻近连接凹槽(20)内的第一螺栓连接所述耦合波导(2)；

所述立柱波导(3)通过设置于其邻近连接凹槽(20)内的第二螺栓连接所述耦合波导(2)。

4.如权利要求1所述的微波腔体组件，其特征在于：所述立柱波导(3)的侧壁内设有第一冷却水道，所述耦合波导(2)的侧壁内设有第二冷却水道，所述谐振腔壳体(1)内设有第三冷却水道；

所述第一冷却水道、第二冷却水道和第三冷却水道形成往复式的冷却水通道，所述冷却水通道的头尾分别与进水口和出水口相连，所述进水口和出水口均设置于所述立柱波导(3)上。

5.如权利要求1所述的微波腔体组件，其特征在于：所述谐振腔壳体(1)两侧的内表面均设有一圈凸台(12)，在所述谐振腔(10)两侧分别形成一个截止波导，所述截止波导的内孔孔径小于所述谐振腔(10)内径。

6.如权利要求5所述的微波腔体组件，其特征在于：每个所述截止波导远离所述谐振腔壳体(1)的一侧还连接有延长波导(4)，所述延长波导(4)沿所述谐振腔(10)轴向开设有同轴线的通孔，且所述通孔的孔径与截止波导的内孔的孔径相同。

7.如权利要求6所述的微波腔体组件，其特征在于：所述延长波导(4)与所述截止波导之间形成有扼流结构。

8.如权利要求7所述的微波腔体组件，其特征在于：所述扼流结构包括环形的扼流槽(40)，所述扼流槽(40)设置于所述延长波导(4)的内周壁，且扼流槽(40)的深度c满足1/20λc1/10λ，λ为微波在真空中的波长。

9.如权利要求6所述的微波腔体组件，其特征在于：所述延长波导(4)为端盖结构，其包括端盖体(41)、以及设置在所述端盖体(41)两侧的呈圆环状的第一筒体(42)和第二筒体(43)，所述第一筒体(42)通过紧固件固定于所述谐振腔壳体(1)，且所述第一筒体(42)的内径大于第二筒体(43)。

10.如权利要求6所述的微波腔体组件，其特征在于：

所述截止波导的轴向长度L1满足1/4λL1λ，截止波导的内孔孔径d满足0.08λd0.61λ；

所述延长波导(4)的轴向长度L2满足1/4λL2λ，以所述谐振腔的半径与所述通孔半径的差值作为所述延长波导(4)的深度h1，满足1/8λh11/2λ。