[实用新型]一种基于石墨烯-金属结构的气体传感器有效
申请号: | 202021548009.3 | 申请日: | 2020-07-30 |
公开(公告)号: | CN213181344U | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 吴佩霞;李晓干 | 申请(专利权)人: | 江苏锐科芯科技有限公司 |
主分类号: | G01N27/00 | 分类号: | G01N27/00 |
代理公司: | 南京北辰联和知识产权代理有限公司 32350 | 代理人: | 王俊 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 石墨 金属结构 气体 传感器 | ||
1.一种基于石墨烯-金属结构的气体传感器,包括外壳(1)、端盖(2)和传感器主体(3),所述端盖(2)安装在所述外壳(1)底端,所述传感器主体(3)安装在所述外壳(1)内侧,其特征在于:所述外壳(1)的顶端开设有内嵌有滤网(5)的进气口(4),在所述外壳(1)内顶面固定有定位凸台(6),所述定位凸台(6)的底面粘结固定有绝缘橡胶垫片(7);所述端盖(2)的顶面开设有供所述外壳(1)底端嵌入的连接环(12),在所述连接环(12)的侧壁上设置有弹性推挤组件,且该弹性推挤组件包括稳定推片(19)和推挤弹簧(22);在所述端盖(2)顶面安装有弹性支撑组件。
2.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯-金属结构的气体传感器,其特征在于:所述传感器主体(3)包括硅基板(13)、二氧化硅绝缘层(14)、金属层(15)、石墨烯层(16)和接触电极(17),所述二氧化硅绝缘层(14)位于所述硅基板(13)顶面,所述接触电极(17)位于所述二氧化硅绝缘层(14)的顶面两端,所述金属层(15)位于所述二氧化硅绝缘层(14)顶面,所述石墨烯层(16)位于所述金属层(15)顶面,在两个所述接触电极(17)上均连接有连接脚(18)。
3.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯-金属结构的气体传感器,其特征在于:所述弹性推挤组件呈环形等间距设置有四组。
4.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯-金属结构的气体传感器,其特征在于:所述推挤弹簧(22)分布在所述稳定推片(19)与所述连接环(12)内壁之间。
5.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯-金属结构的气体传感器,其特征在于:所述稳定推片(19)的顶面为斜面;在所述稳定推片(19)的外表面固定有稳定嵌块(21),在所述外壳(1)外壁开设有供所述稳定嵌块(21)嵌入的稳定凹槽(20);所述稳定推片(19)的嵌入端与所述稳定凹槽(20)均为半球状结构。
6.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯-金属结构的气体传感器,其特征在于:所述弹性支撑组件包括支撑块(8)、一号翻转连杆(9)、二号翻转连杆(10)和支撑弹簧(11),所述支撑块(8)位于所述端盖(2)上方,所述一号翻转连杆(9)和所述二号翻转连杆(10)均对称设有两个,所述一号翻转连杆(9)的顶端与所述支撑块(8)铰接、底端与所述二号翻转连杆(10)的顶端铰接,所述二号翻转连杆(10)的底端与所述端盖(2)铰接,所述支撑弹簧(11)分布在所述支撑块(8)与所述端盖(2)之间。
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