[实用新型]一种微调阀门及应用其的材料升华提纯装置

说明书

本申请提供一种微调阀门及应用其的材料升华提纯装置，该微调阀门包括调节部、驱动部和阀门组件；所述调节部与所述驱动部连接，所述驱动部与所述阀门组件连接；所述阀门组件包括阀片固定盘、阀片拨盘和多个阀片，所述阀片拨盘设于所述阀片固定盘上，所述多个阀片安装于所述阀片拨盘上；所述驱动部能够驱动所述阀片拨盘转动，所述阀片拨盘转动能够带动阀片转动，实现阀门的开启与关闭。本申请提供的微调阀门可以通过控制调节部的旋转精确调整阀门的开启角度。

技术领域

本申请涉及材料升华提纯技术领域，特别涉及一种微调阀门及应用其的材料升华提纯装置。

背景技术

在材料升华提纯过程中，在料装程序后需要对腔体进行抽真空，现有技术抽真空一般包括一个小阀门和一个大阀门，在抽真空过程中，先用小阀门进行抽真空，真空度下降到一定程度后，开启大阀门抽气。

但当材料很轻时，因为两个阀的开口及气流量存在较大的梯度，轻质的材料容易在气流突然变化的状态下飘起；造成腔体污染和材料损失。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本申请实施例公开了一种微调阀门，包括调节部、驱动部和阀门组件；所述调节部与所述驱动部连接，所述驱动部与所述阀门组件连接；

所述阀门组件包括阀片固定盘、阀片拨盘和多个阀片，所述阀片拨盘设于所述阀片固定盘上，所述多个阀片安装于所述阀片拨盘上；

所述驱动部能够驱动所述阀片拨盘转动，所述阀片拨盘转动能够带动阀片转动，实现阀门的开启与关闭。

进一步地，所述驱动部包括第一齿轮和第二齿轮，所述第一齿轮和所述第二齿轮啮合连接；所述第一齿轮与所述调节部连接，所述第二齿轮与所述阀片拨盘连接。

进一步地，所述第一齿轮的齿数小于所述第二齿轮的齿数。

进一步地，所述第一齿轮与所述第二齿轮垂直咬合设置。

进一步地，所述阀片固定盘上设置有环形凹槽，所述阀片拨盘设于安装于所述环形凹槽内。

进一步地，所述第二齿轮上设有第一销轴；阀片拨盘上设有第一直线槽，所述第一销轴位于所述第一直线槽内。

进一步地，所述阀片拨盘上设有第二销轴，所述阀片固定盘上设有第三销轴；所述阀片上设有第二直线槽；

所述第二销轴位于第二直线槽内，所述阀片拨盘可以驱动阀片绕所述第二销轴和所述第三销轴转动，实现阀门的开启与关闭。

进一步地，所述调节部包括连杆，所述连杆的一端与所述第一齿轮连接，所述连杆转动能够带动所述第一齿轮转动。

进一步地，所述调节部还包括旋钮，所述旋钮与所述连杆的另一端连接。

本申请第二方面一种材料升华提纯装置，包括所述微调阀门。

采用上述技术方案，本申请具有如下有益效果：

本申请提供的微调阀门包括调节部、驱动部和阀门组件；所述阀门组件包括阀片固定盘、阀片拨盘和多个阀片；调节部能够带动驱动部转动，所述驱动部转动能够驱动所述阀片拨盘转动，所述阀片拨盘转动能够带动阀片转动；在抽真空过程中，可以通过控制调节部的旋转精确调整阀门的开启角度，避免抽气过快导致的材料飘起问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例一种微调阀门关闭状态下的结构示意图。

图2为本申请实施例一种微调阀门开启状态下的结构示意图。