[实用新型]一种桶式外延炉基座旋转同心度监控装置

权利要求书

1.一种桶式外延炉基座旋转同心度监控装置，包括桶式外延炉基座、安装在桶式外延炉基座底端的转轴、收容桶式外延炉基座的反应腔；其特征在于，还包括安装在反应腔外并自下而上延伸的导轨、沿着导轨上下移动的滑块、安装在滑块上并由滑块带动上下移动的距离传感器、与距离传感器电信号连接的控制器；

所述距离传感器用以测量桶式外延炉基座旋转时相对于距离传感器的距离数据；

控制器用以接收距离数据并通过其中的最大距离及最小距离获取桶式外延炉基座旋转的同心度。

2.根据权利要求1所述的桶式外延炉基座旋转同心度监控装置，其特征在于，所述反应腔面对距离传感器的侧面设有若干开孔，距离传感器移动至与一个开孔位置处，并通过该开孔测量外延炉基座旋转时相对于距离传感器的距离数据。

3.根据权利要求1或2所述的桶式外延炉基座旋转同心度监控装置，其特征在于，所述控制器控制滑块的上下移动。

4.根据权利要求3所述的桶式外延炉基座旋转同心度监控装置，其特征在于，所述桶式外延炉基座上装载有若干片硅片。

5.根据权利要求2所述的桶式外延炉基座旋转同心度监控装置，其特征在于，所述开孔一共有9个。