[实用新型]瑕疵采集装置有效
| 申请号： | 202021553887.4 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN213482082U | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 郝灿;王国名;王颖;彭沛然;高超;朱志忠;周维虎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 瑕疵 采集 装置 | ||
1.一种瑕疵采集装置，其特征在于，包括：
相机(1)、图像采集卡(2)、光源(3)、电机(4)、编码器(5)、瑕疵采集平台(6)、卷布装置(8)及工控机(9)；
所述相机(1)设于所述瑕疵采集平台(6)的上方，可相对于所述瑕疵采集平台(6)在水平方向和/或竖直方向移动；
所述光源(3)设于所述瑕疵采集平台(6)的上方和/或下方，所述卷布装置(8)设于所述瑕疵采集平台(6)两侧的下方；
所述相机(1)与所述图像采集卡(2)连接，所述图像采集卡(2)与所述工控机(9)连接，所述工控机(9)与所述电机(4)连接，所述电机(4)与所述卷布装置(8)连接；
所述编码器(5)在所述电机(4)转动时触发所述相机(1)进行扫描。
2.根据权利要求1所述的瑕疵采集装置，其特征在于，所述相机(1)采用工业线阵相机，所述相机(1)的扫描方式为线扫。
3.根据权利要求1所述的瑕疵采集装置，其特征在于，所述光源(3)采用LED线光源。
4.根据权利要求1或3所述的瑕疵采集装置，其特征在于，在所述相机(1)扫描的对象的透光率低于预设值的情况下，所述光源(3)设于所述瑕疵采集平台(6)的上方；
在所述相机(1)扫描的对象的透光率高于所述预设值的情况下，所述光源(3)设于所述瑕疵采集平台(6)的下方。
5.根据权利要求1所述的瑕疵采集装置，其特征在于，所述瑕疵采集装置还包括亚克力板(7)，所述亚克力板(7)设于所述瑕疵采集平台(6)的表面。
6.根据权利要求1所述的瑕疵采集装置，其特征在于，所述电机(4)的转速与所述相机(1)的扫描速率匹配。
7.根据权利要求1或3所述的瑕疵采集装置，其特征在于，所述光源(3)与所述瑕疵采集平台(6)之间的距离、所述光源(3)的亮度及投射角度可调节。
8.根据权利要求1所述的瑕疵采集装置，其特征在于，所述电机(4)通过联轴器与所述卷布装置(8)连接。
9.根据权利要求6所述的瑕疵采集装置，其特征在于，所述编码器(5)根据所述电机(4)的转速产生脉冲信号并发送至所述图像采集卡(2)，所述图像采集卡(2)通过所述脉冲信号控制所述相机(1)的扫描速率。
10.根据权利要求1所述的瑕疵采集装置，其特征在于，所述卷布装置(8)包括卷布轴，所述卷布轴中间设有缝隙，通过楔形板将所述相机(1)扫描的对象夹紧在所述卷布轴上。
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