[实用新型]一种气体冷却装置有效

专利信息
申请号: 202021564718.0 申请日: 2020-07-31
公开(公告)号: CN212573387U 公开(公告)日: 2021-02-19
发明(设计)人: 胡小林;赵峰 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: H05K7/20 分类号: H05K7/20
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 气体 冷却 装置
【权利要求书】:

1.一种气体冷却装置,其特征在于,包括:

壳体(10),所述壳体(10)内设置有气流通道(11),所述壳体(10)上设置有冷却介质入口(14)和冷却介质出口(15);

冷却管道(20),设于所述气流通道(11)内,并与所述冷却介质入口(14)和所述冷却介质出口(15)连通,所述冷却管道(20)用于流通冷却介质,所述冷却介质能冷却所述气流通道(11)内的气流;所述冷却管道(20)在所述气流通道(11)的截面内弯折形成管网单元(21),所述管网单元(21)为若干个,若干个所述管网单元(21)沿所述气流通道(11)的气流方向间隔设置,且相邻的所述管网单元(21)在所述气流通道(11)的截面上的投影不重叠,以使相邻的所述管网单元(21)错位设置。

2.根据权利要求1所述的气体冷却装置,其特征在于:

每一所述管网单元(21)上的间隙的总截面积大于或等于所述气体冷却装置规定的散热核定截面积。

3.根据权利要求2所述的气体冷却装置,其特征在于:

若干所述管网单元(21)叠合能布满所述气流通道(11)的截面。

4.根据权利要求2所述的气体冷却装置,其特征在于:

相邻的所述管网单元(21)之间的间隔大于或等于1倍所述冷却管道(20)的沿所述气流方向上的尺寸。

5.根据权利要求1所述的气体冷却装置,其特征在于:

所述冷却管道(20)为一条,所述冷却管道(20)中所述冷却介质的流动方向与所述气流方向相反。

6.根据权利要求1所述的气体冷却装置,其特征在于:

所述冷却介质入口(14)与所述冷却介质出口(15)并排设置。

7.根据权利要求1所述的气体冷却装置,其特征在于:

所述管网单元(21)为菱形网状,所述管网单元(21)中形成有若干菱形。

8.根据权利要求1所述的气体冷却装置,其特征在于:

所述管网单元(21)的管道呈S形弯折。

9.根据权利要求1所述的气体冷却装置,其特征在于:

所述管网单元(21)的管道呈回形弯折。

10.根据权利要求1所述的气体冷却装置,其特征在于:

所述壳体(10)的内壁和/或所述冷却管道(20)上设置有散热翅片(30)。

11.根据权利要求1所述的气体冷却装置,其特征在于:

所述壳体(10)的两端设置有连接孔(16),所述壳体(10)与外部部件通过螺钉连接;或

所述壳体(10)的两端设置有螺纹,所述壳体(10)与外部部件通过螺纹连接。

12.根据权利要求1所述的气体冷却装置,其特征在于:

还包括:

晶片结构(50),设于所述气流通道(11)内,用于散热及用于支撑所述管网单元(21)。

13.根据权利要求1所述的气体冷却装置,其特征在于:

所述壳体(10)上设置有探测器安装接口(17),所述探测器安装接口(17)用于连接探测器,以检测所述气流通道(11)内的气流参数。

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