[实用新型]一种硅片氧化测试工具有效
| 申请号： | 202021564776.3 | 申请日： | 2020-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN212807953U | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 陈文建 | 申请（专利权）人： | 江苏润阳光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N13/00 | 分类号： | G01N13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 224000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 氧化 测试 工具 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片氧化测试工具，其特征在于：包括工具主体，所述工具主体为矩形双层框架，上层框架为中空结构，所述上层框架的顶部开有五个直径3厘米的孔洞，所述孔洞呈梅花形五点排布；下层框架与上层框架的接触面相对的两边上对应的各开有一个凹槽；所述工具主体整体采用透明材质。
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