[实用新型]一种晶圆包装盒用的垫片

说明书

本实用新型涉及一种晶圆包装盒用的垫片，包括：可安装于晶圆包装盒中且具有弹性的垫片本体，所述垫片本体包括与所述晶圆包装盒配合的主体部、以及设置于所述主体部的两相对侧以支撑放置于所述晶圆包装盒中的片架并将所述片架与所述晶圆包装盒的内壁隔离的支撑部；设置于所述主体部上以供操作所述垫片本体的把手。该晶圆包装盒用的垫片可通过垫片本体的弹性能有效缓冲片架由于振动而产生的冲击力，又能缩小片架高度方向活动空间，避免片架发生振动与该晶圆包装盒直接接触而产生碰撞，并通过设置支撑部使片架不与晶圆包装盒的内壁直接接触，从而可避免片架与该晶圆包装盒的内壁摩擦产生白色颗粒物，进而可防止晶圆片被白色颗粒物污染。

技术领域

本实用新型涉及用于晶圆储存和运输的配件，更具体地说，涉及一种晶圆包装盒用的垫片。

背景技术

目前市场晶圆包装盒多为片架直接抵靠在晶圆包装盒的底盖，这样的设计存在以下缺点。

1、在存储和运输过程中，片架发生振动，与晶圆包装盒直接接触且在冲击力较大时与晶圆包装盒发生碰撞。

2、片架与底盖上的支撑筋容易发生摩擦产生白色颗粒物，从而导致晶圆片被污染。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种晶圆包装盒用的垫片。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种晶圆包装盒用的垫片，包括：

可安装于晶圆包装盒中且具有弹性的垫片本体，所述垫片本体包括与所述晶圆包装盒配合的主体部、以及设置于所述主体部的两相对侧以支撑放置于所述晶圆包装盒中的片架并将所述片架与所述晶圆包装盒的内壁隔离的支撑部；

设置于所述主体部上以供操作所述垫片本体的把手。

优选地，所述主体部的横截面呈弧形。

优选地，所述主体部整体呈工字形。

优选地，所述支撑部为四个，四个所述支撑部分别位于所述主体部的四个顶角。

优选地，所述支撑部与所述主体部相背设置的一侧设有与所述晶圆包装盒配合限位的限位结构。

优选地，所述限位结构包括设置于所述支撑部与所述主体部相背设置的一侧的限位卡槽。

优选地，所述主体部的两相对侧均设有减胶口。

优选地，所述主体部与所述支撑部之间的连接处拱起形成与所述晶圆包装盒配合的套接部。

优选地，所述把手呈柱状，且垂直于所述垫片本体设置。

优选地，所述把手与所述垫片本体一体成型。

实施本实用新型的晶圆包装盒用的垫片，具有以下有益效果：该晶圆包装盒用的垫片可安装于该晶圆包装盒中，通过垫片本体的弹性能有效缓冲片架由于振动而产生的冲击力，又能缩小片架高度方向活动空间，避免片架发生振动与该晶圆包装盒直接接触而产生碰撞，并通过设置支撑部以支撑放置于该晶圆包装盒中的片架并将该片架与该晶圆包装盒的内壁隔离，使片架不与晶圆包装盒的内壁直接接触，从而可避免片架与该晶圆包装盒的内壁摩擦产生白色颗粒物，进而可防止晶圆片被白色颗粒物污染。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型一些实施例中晶圆包装盒用的垫片的结构示意图；

图2是图1所示晶圆包装盒用的垫片的剖视图；

图3是图1所示晶圆包装盒用的垫片的安装于晶圆包装盒底盖的状态示意图；

图4是图1所示晶圆包装盒用的垫片与片架和晶圆包装盒的底盖配合的状态示意图。

具体实施方式