[实用新型]一种用于工业洁净室的风量及压力装置

权利要求书

1.一种用于工业洁净室的风量及压力装置，包括送风主管路(1)、工艺中效过滤排气机组(2)、压力传感器(15)和可编程逻辑控制器(PLC)(18)，其特征在于：所述送风主管路(1)包括送风管路(3)，所述送风管路(3)的一端与AHU一次回风空调机组的一端固定连接，所述送风管路(3)的另一端与洁净室的高效送风口(5)固定连接，AHU一次回风空调机组的另一端固定连接有回风管，且回风管的另一端固定连接有回风管路一(6)和旁通管路(17)，所述回风管路一(6)的另一端与洁净室内的侧壁百叶过滤风口(8)固定连接，所述旁通管路(17)的另一端固定连接有管路(13)和排风管路(9)，所述管路(13)的另一端与洁净室设备出风侧的侧壁百叶过滤风口固定连接，所述排风管路(9)的另一端与工艺中效过滤排气机组(2)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于工业洁净室的风量及压力装置，其特征在于：所述送风管路(3)的另一端设有定风量控制阀一(4)，所述回风管路一(6)的一端设有定风量控制阀二(7)，且定风量控制阀二(7)位于洁净室的回风侧。

3.根据权利要求1所述的一种用于工业洁净室的风量及压力装置，其特征在于：所述旁通管路(17)的另一端固定连接有密闭型电动开关阀一(10)，所述密闭型电动开关阀一(10)的另一端与排风管路(9)固定连接，所述旁通管路(17)的另一端固定连接有密闭型电动开关阀二(11)，所述密闭型电动开关阀二(11)的另一端固定连接有变风量控制阀(12)，所述变风量控制阀(12)的另一端与管路(13)固定连接，所述密闭型电动开关阀一(10)和密闭型电动开关阀二(11)的内部均设有交流接触器。

4.根据权利要求1所述的一种用于工业洁净室的风量及压力装置，其特征在于：所述压力传感器(15)位于洁净室内部，所述可编程逻辑控制器(PLC)(18)位于洁净室的外部，且洁净室设备的一侧固定连接有启停连锁(16)。

5.根据权利要求1所述的一种用于工业洁净室的风量及压力装置，其特征在于：所述送风主管路(1)内部的一侧固定连接有风量传感器(19)。

6.根据权利要求1所述的一种用于工业洁净室的风量及压力装置，其特征在于：所述工艺中效过滤排气机组(2)中的排气机和AHU一次回风空调机组中的送风机均采用变频控制(14)，且变频控制(14)的变频器设于排气机和送风机的变频控制柜内。