[实用新型]一种激光SE设备转台有效
申请号: | 202021579028.2 | 申请日: | 2020-08-03 |
公开(公告)号: | CN213026159U | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 郭敏杰;苑虎;杨香林;辛玉龙;曹愉凯;庞勃;荣伟;张奇雄;刘艳玲;赵艳 | 申请(专利权)人: | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人: | 李富元 |
地址: | 046000 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 se 设备 转台 | ||
1.一种激光SE设备转台,包括激光主体座(1)和四个工位座(3),其特征在于:工位座(3)为一个矩形平板,每个工位座(3)与激光主体座(1)之间通过连接板(2)进行连接,连接板(2)成苍蝇拍结构,连接板(2)与工位座(3)通过水平调整装置(4)连接。
2.根据权利要求1所述的一种激光SE设备转台,其特征在于:水平调整装置(4)包括螺柱(6)、螺母(5)、螺柱通孔,螺柱(6)与工位座(3)一体化连接或者焊接连接,连接板(2)上有与螺柱(6)对应的通孔,螺柱(6)安装螺母(5)后插入在螺柱通孔中。
3.根据权利要求1所述的一种激光SE设备转台,其特征在于:水平调整装置(4)为四个且横截面连接成矩形结构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的