[实用新型]用于多晶硅生产中树脂的处理系统

权利要求书

1.用于多晶硅生产中树脂的处理系统，其特征在于：包括氯硅烷缓冲罐（1）、提供液相氯硅烷的氯硅烷储罐（2）和装有待处理树脂的反应柱（3），氯硅烷缓冲罐（1）与氯硅烷储罐（2）之间通过氯硅烷进管Ⅰ（4）连通，氯硅烷进管Ⅰ（4）延伸至氯硅烷缓冲罐（1）下部，氯硅烷缓冲罐（1）连接有氮气进管（5），氮气进管（5）延伸至氯硅烷缓冲罐（1）下部；氯硅烷缓冲罐（1）与反应柱（3）之间通过混气进管（6）连通，混气进管（6）与氯硅烷缓冲罐（1）顶部连通；

氯硅烷储罐（2）与反应柱（3）之间通过氯硅烷进管Ⅱ（7）连通。

2.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中树脂的处理系统，其特征在于：所述氯硅烷缓冲罐（1）上设置有压力表Ⅰ（8）和液位计（9）。

3.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中树脂的处理系统，其特征在于：所述氯硅烷缓冲罐（1）和反应柱（3）底部均通过废液排出管（17）连接有氯硅烷废液汇集罐（18）。

4.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中树脂的处理系统，其特征在于：所述反应柱（3）上设置有压力表Ⅱ（10）和温度计（11），温度计（11）为多个，均匀分布于反应柱（3）的上部、中部及下部。

5.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中树脂的处理系统，其特征在于：所述反应柱（3）顶部通过尾气放空管（12）连接有尾气处理系统（13）。