[实用新型]微振动信号敏感元件、检测机构及磨床对刀精准检测装置

权利要求书

1.一种微振动信号敏感元件，其特征在于，包括：

基底层，其上开设有裂纹，所述裂纹沿所述基底层厚度方向贯穿该基底层，所述裂纹具有一封闭的尖端部；

压电薄膜，设于所述裂纹尖端部一侧的基底层上，用于将裂纹产生的振动信号转化为电信号；

输出电极，连接所述压电薄膜，用于输出所述电信号。

2.根据权利要求1所述的微振动信号敏感元件，其特征在于，所述裂纹自所述基底层的一侧向内凹陷形成，所述裂纹具有与所述尖端部相对设置的开放部。

3.根据权利要求1所述的微振动信号敏感元件，其特征在于，所述压电薄膜的材料可以是聚偏氟乙烯、氮化铝、氧化锌、锆钛酸铅、铌酸锂晶体、钛酸铅中的一种。

4.根据权利要求1所述的微振动信号敏感元件，其特征在于，所述基底层采用环氧树脂、聚二甲基硅氧烷或紫外固化胶中的一种。

5.一种微振动信号检测机构，其特征在于，包括：

罩壳，内部中空设置；

探头组件，设于所述罩壳内且与所述罩壳之间弹性连接，所述探头组件具有相对设置的第一端部和第二端部，所述第一端部凸于所述罩壳设置，所述探头组件能在外力作用下相对于所述罩壳伸缩移动；

上述权利要求1-4任一所述微振动信号敏感元件，设于所述罩壳内且与所述探头组件的第二端部连接设置。

6.根据权利要求5所述的微振动信号检测机构，其特征在于，位于所述罩壳外的第一端部上设置有限位结构，当所述探头组件在外力的作用下向所述罩壳内收缩时，所述限位结构能限制所述探头组件的收缩位移。

7.根据权利要求5所述的微振动信号检测机构，其特征在于，所述第二端部固定连接于所述基底层与所述裂纹相平行的侧面。

8.根据权利要求5所述的微振动信号检测机构，其特征在于，所述探头组件与所述罩壳之间设置有复位件，所述探头组件当在外力作用下相对于所述罩壳移动后，能在所述复位件的作用下实现复位。

9.一种磨床对刀精准检测装置，其特征在于，包括：

基座；

上述权利要求5-8任一所述微振动信号检测机构，设于所述基座上，用于收集磨床对刀时产生的振动信号，并将其转换为电信号；

信号处理与显示机构，连接所述微振动信号检测机构，用于对收集到的电信号进行处理并输出显示。

10.根据权利要求9所述的磨床对刀精准检测装置，其特征在于，所述信号处理与显示机构包括与所述输出电极相连接的电荷放大器、与所述电荷放大器相连接的模数转换器、与所述模数转换器相连接的微处理器以及与所述微处理器相连接的显示输出结构。