[实用新型]一种半导体加工用熔融装置

说明书

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种半导体加工用熔融装置，其节省功夫，提高对纸质材料的输入效果和使用效果，同时方便对过滤板过滤下来的未熔融颗粒进行再次熔融，提高使用可靠性；包括支架、进料斗、熔融装置本体、过滤箱、连接管和出料管，熔融装置本体和过滤箱均安装在支架上，过滤箱内安装有过滤板，出料管连通安装在过滤箱底端；还包括两组电动机、两组破碎辊筒、两组转轴、支撑座、两组缓冲座、隔板、推板、伸缩电机、连接框、输出斗、阀体、传送装置、输入斗和减震座，两组破碎辊筒均位于进料斗输出口下方，两组破碎辊筒外侧壁上均设置有破碎切片，推板底端与过滤板顶端左侧接触，传送装置安装在减震座上。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种半导体加工用熔融装置。

背景技术

众所周知，所谓熔融装置，是一种能将金属材料进行熔融处理的设备，存在若干半导体结晶方法，其中必须熔融各种形式因素的固态原料，而半导体在加工过程中，也需对其原料进行熔融，以便后续进行生产；现有的半导体加工熔融装置包括支架、进料斗、熔融装置本体、过滤箱、连接管和出料管，熔融装置本体和过滤箱均安装在支架上，且过滤箱位于熔融装置本体下方，进料斗连通安装在熔融装置本体顶端，连接管连通安装在过滤箱顶端，且连接管输入端与熔融装置本体底端连通，连接管上设置有控制阀，过滤箱内安装有过滤板，出料管连通安装在过滤箱底端；这种半导体加工熔融装置使用时通过进料斗将原料输入至熔融装置本体内部进行熔融，一段之间后打开控制阀将熔融后的原料输入至过滤箱内进行过滤，过滤后的原料通过输出管输出到指定区域处即可；这种半导体加工用熔融装置使用中发现，固态原料输入前还需特意进行破碎，较为麻烦，且破碎后的碎屑在移动及输入过程中均易存在部分飘散现象，使用效果有限，并且过滤板过滤下来的未熔融颗粒，后续还需取出进行再次熔融，过程麻烦，使用可靠性有限。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种节省功夫，保证对固态原料的输入效果和使用效果，同时方便对过滤板过滤下来的未熔融颗粒进行再次熔融，提高使用可靠性的半导体加工用熔融装置。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体加工用熔融装置，包括支架、进料斗、熔融装置本体、过滤箱、连接管和出料管，熔融装置本体和过滤箱均安装在支架上，且过滤箱位于熔融装置本体下方，进料斗连通安装在熔融装置本体顶端，连接管连通安装在过滤箱顶端，且连接管输入端与熔融装置本体底端连通，连接管上设置有控制阀，过滤箱内安装有过滤板，出料管连通安装在过滤箱底端；还包括两组电动机、两组破碎辊筒、两组转轴、支撑座、两组缓冲座、隔板、推板、伸缩电机、连接框、输出斗、阀体、传送装置、输入斗和减震座，所述两组电动机均安装在熔融装置本体后端上侧，并在两组电动机的前部输出端上均设置有传动轴，所述两组破碎辊筒均位于进料斗输出口下方，且两组传动轴前端均穿过熔融装置本体并分别与两组破碎辊筒后端连接，两组破碎辊筒外侧壁上均设置有破碎切片，且两组破碎辊筒上的破碎切片均相互交叉设置，所述两组转轴分别固定在两组破碎辊筒前端，支撑座固定在熔融装置本体内侧壁上并对两组转轴进行支撑，所述隔板固定在过滤箱内底壁左半区域上，且隔板外侧壁与过滤箱内侧壁连接，所述推板左端与隔板右端接触，推板底端与过滤板顶端左侧接触，所述伸缩电机安装在过滤箱左端，且伸缩电机的右部伸缩轴穿过过滤箱和隔板并与推板左端连接，所述两组缓冲座均固定在过滤箱内底壁上，且两组缓冲座顶端分别与过滤板底端左右两侧连接，所述过滤板右端设置有输出口，且输出口与推板相对应，所述连接框连通安装在输出口处，阀体安装在连接框上，且阀体输出端与连接框内侧壁接触，所述减震座位于支架右侧，传送装置安装在减震座上，所述输出斗输入端和输出端分别与连接框右端和传送装置左端下侧连通，输入斗输入端和输出端分别与熔融装置本体右端上侧和传送装置左端上侧连通。

优选的，所述传送装置包括柱形外壳、伺服电机和绞笼，伺服电机安装在柱形外壳顶端，所述绞笼位于柱形外壳内侧，且绞笼外侧壁与柱形外壳内侧壁接触，所述伺服电机的底部转轴穿过柱形外壳并与绞笼顶端连接。