[实用新型]具有应力调节层的微热板有效
| 申请号： | 202021585324.3 | 申请日： | 2020-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN212572999U | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 崔铮;张克栋;余飞;陈晓跃;刘福星;周健 | 申请（专利权）人： | 苏州纳格光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/14 | 分类号： | H05B3/14;H05B3/20;H05B3/34 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 常伟 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 应力 调节 微热板 | ||
1.一种具有应力调节层的微热板，其特征在于，包括：
硅基底，包括相对设置的第一表面及第二表面；所述硅基底包括中心加热区及外围支撑区，所述中心加热区包括贯穿所述第一表面以及所述第二表面的空气绝热腔；
陶瓷悬膜，设于所述第一表面；
应力调节层，覆盖至少部分所述陶瓷悬膜的上表面；
加热层，所述加热层包括加热电阻膜及加热电极；所述加热电阻膜设于所述陶瓷悬膜上方并位于所述中心加热区，所述加热电极设于所述陶瓷悬膜上方并与所述加热电阻膜电连接；所述加热层至少部分与所述应力调节层接合。
2.根据权利要求1所述的具有应力调节层的微热板，其特征在于，所述加热电阻膜设于所述陶瓷悬膜上表面；
所述应力调节层覆盖所述加热电阻膜，并向下延伸以覆盖部分所述陶瓷悬膜的上表面。
3.根据权利要求1所述的具有应力调节层的微热板，其特征在于，所述应力调节层设于所述陶瓷悬膜及所述加热层之间。
4.根据权利要求1所述的具有应力调节层的微热板，其特征在于，所述应力调节层包括平铺层及延伸层，所述平铺层设于所述陶瓷悬膜及所述加热层之间，所述延伸层覆盖所述加热电阻膜，并向下延伸以覆盖部分所述陶瓷悬膜的上表面。
5.根据权利要求1所述的具有应力调节层的微热板，其特征在于，所述应力调节层的厚度为1um-50um。
6.根据权利要求1所述的具有应力调节层的微热板，其特征在于，所述应力调节层为陶瓷颗粒层、陶瓷纤维层或者陶瓷颗粒纤维复合层。
7.根据权利要求1所述的具有应力调节层的微热板，其特征在于，所述应力调节层为陶瓷颗粒层或者陶瓷颗粒纤维复合层，其中的陶瓷颗粒为圆形、方形或不规则形状的其中之一。
8.根据权利要求1所述的具有应力调节层的微热板，其特征在于，所述应力调节层为陶瓷颗粒层或者陶瓷颗粒纤维复合层，其中的陶瓷颗粒直径为0.1um-20um。
9.根据权利要求1所述的具有应力调节层的微热板，其特征在于，所述应力调节层为陶瓷纤维层或者陶瓷颗粒纤维复合层，其中的陶瓷纤维直径大小为0.1um-20um。
10.根据权利要求1所述的具有应力调节层的微热板，其特征在于，所述应力调节层为陶瓷纤维层或者陶瓷颗粒纤维复合层，其中的陶瓷纤维长度为1um-200um。
11.根据权利要求1所述的具有应力调节层的微热板，其特征在于，所述具有应力调节层的微热板还包括陶瓷保护层，所述陶瓷保护层覆盖所述加热电阻膜或所述应力调节层。
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