[实用新型]一种热驱动大载荷微位移执行机构

权利要求书

1.一种热驱动大载荷微位移执行机构，其特征在于，所述热驱动大载荷微位移执行机构包括：

缸筒组件，内部充满一定压力的液体介质，用于承载大的负载；

所述的缸筒组件同轴安装在固体支架内部，通过缸筒组件与固体支架之间的导向结构进行缸筒轴向滑动，实现微位移驱动；

丝杠-螺母结构，同轴固定在固体支架上，或直接在固体支架上加工螺纹孔；

所述的丝杠-螺母结构与缸筒组件同轴，丝杠通过在螺纹孔中旋转并通过球头连接部分驱动缸筒线性运动，进行大行程位移输出。

2.如权利要求1所述的热驱动大载荷微位移执行机构，其特征在于，所述的液体介质具有热胀冷缩性能，包括各类矿物油、硅油、乙二醇、甘油。

3.如权利要求1所述的热驱动大载荷微位移执行机构，其特征在于，所述的缸筒组件轴向方向焊接有金属波纹管，为充装液体提供轴向方向的线性位移伸缩；所述金属波纹管上部连接有载物平台；

所述的金属波纹管具有轴向刚度远小于径向刚度，包括焊接波纹管、液压成型波纹管。

4.如权利要求1所述的热驱动大载荷微位移执行机构，其特征在于，所述的缸筒组件安装有单向自密封的充压阀，向缸筒内充入一定压力的液体；

所述的缸筒装有加热结构，通过调整加热结构的功率，对液体介质温度的调节，实现缸筒轴向微位移的调节。

5.如权利要求4所述的热驱动大载荷微位移执行机构，其特征在于，所述的加热结构可以位于缸筒组件内部，直接和液体介质接触，并通过散热片保障液体介质温度均匀变化；

所述的加热结构缠绕在缸筒外表面，通过缸筒将热量传递给液体介质。

6.如权利要求4所述的热驱动大载荷微位移执行机构，其特征在于，所述的导向结构，用于载物台上下运行时导向，位于固定支架和缸筒之间，固定安装在缸筒上，或安装在固定支架上；所述的导向结构包括上导向与下导向；用于油缸导向；

所述的导向结构采用具有自润滑性能的低导热率的非金属材料，包括尼龙、聚酰亚胺、聚醚醚酮、高密度聚乙烯工程材料。