[实用新型]一种可选择性炉门抽气气路结构

说明书

本实用新型公开了一种可选择性炉门抽气气路结构，涉及扩散炉技术领域，本实用新型包括炉管和炉门，炉门与炉管配合后形成内腔室和炉口腔室，内腔室和炉口腔室通过通道连通，所述炉门上设置有与炉口腔室连通的炉口抽气管，所述内腔室内部设置有尾气管，所述尾气管一端延伸出内腔室与抽空主管道连接，炉口抽气管通过调压管件与抽空主管道连接，抽空主管道连接有真空泵；本实用新型结构简单，可以减少炉门因偏磷酸成绩导致的异常停机和方阻不良产生，可以提高产品的一次通过率；同时降低了技术人员处理异常频次和劳动强度。

技术领域

本实用新型涉及扩散炉技术领域，更具体的是涉及可选择性炉门抽气气路结构技术领域。

背景技术

随着光伏产业的迅速发展，太阳能暨光伏电池产品制造商的不断增加，大多企业对于制造的成本控制要求变得越来越高，人们对太阳能光伏电池产品生产的主要设备趋于国产化、设备组成零部件的研究发明和制造成本的趋于逐步降低，简洁灵活的操作性能成了为众多电池产品制造商的主要关注点。

对于扩散炉而言，设备的稳定性是方阻良率的有效保证，而对于磷扩散而言，三氯氧磷和氧气反应产生的衍生物偏磷酸比较容易凝聚在炉门上的密封件上，在冷凝过后，容易产生固态的偏磷酸，不利于炉口腔室的压力抽空，导致检漏失败和充气出舟，产生大量的不良隔离。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种可选择性炉门抽气气路结构。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种可选择性炉门抽气气路结构，包括炉管和炉门，炉门与炉管配合后形成内腔室和炉口腔室，内腔室和炉口腔室通过通道连通，所述炉门上设置有与炉口腔室连通的炉口抽气管，所述内腔室内部设置有尾气管，所述尾气管一端延伸出内腔室与抽空主管道连接，炉口抽气管通过调压管件与抽空主管道连接，抽空主管道连接有真空泵。

更优地，所述调压管件包括并联的设置在炉口抽气管上的调压主管道和支管道，调压主管道上设置有气动阀，所述调压主管道的管径大于支管道的管径。

更优地，所述炉管一端封闭一端开口，炉管封闭端设置有与炉管内部连通的进气管和排气管，炉管开口处与炉门配合。

更优地，所述炉门为双层炉门机构，尾气管一端通过排气管伸出炉管。

本实用新型的有益效果如下：

1、该装置主要采用了可选择性的气路结构，采用该结构，在炉管内腔室和炉口腔室抽空至低压状态后，通过切换气路主管道至分支小管，通过缩小管径的方式，降低炉口腔室抽气量，使真空泵主要抽气来源集中在内腔室，让炉口压力略微大于炉管内腔室压力，使多数衍生物废气从内腔室由尾气管抽走，减少偏磷酸堆积至炉口腔室，降低偏磷酸在炉门密封件上的凝结级率，可以有效的提高炉口抽空，提高设备利用率，减少宕机维修时间，同时可以有效的提高和稳定产品线路良率。

2、可以减少炉门因偏磷酸成绩导致的异常停机和方阻不良产生，可以提高产品的一次通过率；同时降低了技术人员处理异常频次和劳动强度。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是炉管和炉门的结构示意图；

图3是管道系统的结构示意图；

图4是图1炉门处的结构示意图；

附图标记：1-炉管，2-内腔室，3-炉门，4-炉口抽气管，5-炉口腔室，6-尾气管，7-排气管， 8-调压管件，8-1-气动阀，8-2-调压主管道，8-3-支管道，9-抽空主管道，10-真空泵，11-进气管。

具体实施方式