[实用新型]用于金刚石生长的PLC冷却装置及金刚石生长系统

权利要求书

1.一种用于金刚石生长的PLC冷却装置，其特征在于，包括：控制模块、水冷机、若干进水管路、若干回水管路和若干水流计，其中，

所述水冷机与所述控制模块双向电连接；

所述若干进水管路中每路进水管路的进水端均连接至所述水冷机的出水口，所述若干进水管路中每个进水管路的出水端与金刚石生长系统中若干待冷却部件的冷却水入口一一对应连接；

所述若干回水管路中每个回水管路的进水端与所述若干待冷却部件的冷却水出口一一对应连接，所述若干回水管路中每个回水管路的出口端均连接至所述水冷机的入水口；

所述若干水流计一一对应设置在所述若干进水管路上，且所述若干水流计中的每个水流计均电连接至所述控制模块。

2.如权利要求1所述的用于金刚石生长的PLC冷却装置，其特征在于，还包括若干进水阀门，

所述若干进水阀门一一对应地设置在所述若干进水管路上，且设置在所述若干水流计与所述水冷机之间；

所述控制模块电连接至所述若干进水阀门。

3.如权利要求1所述的用于金刚石生长的PLC冷却装置，其特征在于，还包括若干回水阀门，

所述若干回水阀门一一对应地设置在所述若干回水管路上；

所述控制模块电连接至所述若干回水阀门。

4.如权利要求3所述的用于金刚石生长的PLC冷却装置，其特征在于，还包括若干水温计，

所述若干水温计一一对应地设置在所述若干回水管路上，且设置在所述若干待冷却部件与所述若干回水阀门之间；

所述若干水温计均电连接至所述控制模块。

5.如权利要求1所述的用于金刚石生长的PLC冷却装置，其特征在于，还包括冷却风扇和真空计，

所述冷却风扇设置在所述金刚石生长系统的真空腔体的正上方，且所述控制模块电连接至所述冷却风扇；

所述真空计设置在所述金刚石生长系统的真空腔体上，且所述真空计电连接至所述控制模块。

6.如权利要求1所述的用于金刚石生长的PLC冷却装置，其特征在于，还包括上位机和路由器，所述上位机与所述路由器双向电连接，所述路由器与所述控制模块双向电连接。

7.如权利要求1所述的用于金刚石生长的PLC冷却装置，其特征在于，所述若干待冷却部件包括中轴冷却部、底板冷却部、腔体冷却部和天线冷却部，所述若干进水管路的数量为4路，所述若干回水管路的数量为4路，所述若干水流计的数量为4个；

4路进水管路的出水端分别连接至中轴冷却部的冷却水入口、底板冷却部的冷却水入口、腔体冷却部的冷却水入口、天线冷却部的冷却水入口；

4路回水管路的进水端分别与所述中轴冷却部的冷却水出口、所述底板冷却部的冷却水出口、所述腔体冷却部的冷却水出口、所述天线冷却部的冷却水出口连接；

4个水流计分别安装在所述4路进水管路上。

8.如权利要求1所述的用于金刚石生长的PLC冷却装置，其特征在于，所述控制模块包括PLC控制系统。

9.一种金刚石生长系统，其特征在于，包括如权利要求1～8任一项所述的用于金刚石生长的PLC冷却装置。