[实用新型]微波等离子体化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，包括：

波导装置(100)；

反应腔(200)，设置在所述波导装置(100)下方，与所述波导装置(100)连接；

冷却罩(300)，与所述反应腔(200)连接，用于对所述反应腔(200)进行风冷散热；

屏蔽罩(400)，围设在所述反应腔(200)外部，以防止所述反应腔(200)内的电磁辐射泄漏；

旋转升降机构，所述旋转升降机构与所述反应腔(200)内设置的生长平台(201)连接，以实现所述生长平台(201)在所述反应腔(200)内做直线运动和旋转运动。

2.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述冷却罩(300)包括均风板(301)、引风道(302)、风机(303)和连接管(304)，其中，

所述均风板(301)设置在所述屏蔽罩(400)上方；

所述引风道(302)与所述均风板(301)连接；

所述风机(303)通过所述连接管(304)与所述引风道(302)连接。

3.根据权利要求2所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述均风板(301)上设置有若干通风孔(3011)。

4.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述屏蔽罩(400)上设置有若干通孔(401)。

5.根据权利要求4所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述通孔(401)的直径小于或等于需屏蔽电磁波波长的1/10。

6.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述旋转升降机构包括主轴(500)、升降机构(600)和旋转机构(700)，所述主轴(500)与所述生长平台(201)连接；

所述升降机构(600)与所述主轴(500)连接，以驱动所述主轴(500)带动所述生长平台(201)在所述反应腔(200)内上下移动；

所述旋转机构(700)与所述主轴(500)连接，以驱动所述主轴(500)带动所述生长平台(201)在所述反应腔(200)内做旋转运动。

7.根据权利要求6所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述升降机构(600)包括第一伺服电机(601)、第一传动件以及第一控制器，其中，

所述第一传动件分别与所述第一伺服电机(601)和所述主轴(500)连接；

所述第一控制器与所述第一伺服电机(601)连接，用于控制所述第一伺服电机(601)驱动所述第一传动件运动，以使所述主轴(500)带动所述生长平台(201)在所述反应腔(200)内上下移动。

8.根据权利要求6所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述旋转机构(700)包括第二伺服电机(701)、第二传动件以及第二控制器，其中，

所述第二传动件分别与所述第二伺服电机(701)和所述主轴(500)连接；

所述第二控制器与所述第二伺服电机(701)连接，用于控制所述第二伺服电机(701)驱动所述第二传动件运动，以使所述主轴(500)带动所述生长平台(201)在所述反应腔(200)内做旋转运动。

9.根据权利要求8所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，还包括冷却机构(800)，所述冷却机构(800)包括套接在所述主轴(500)外部的水套轴(801)，其中，

所述水套轴(801)侧面开设有冷却水进口(8011)和冷却水出口(8012)；

所述主轴(500)内部设置有进水通道(802)和出水通道(803)，所述进水通道(802)通过开设在所述主轴(500)上的进水槽(804)与所述冷却水进口(8011)连接，所述出水通道(803)通过开设在所述主轴(500)上的出水槽(805)与所述冷却水出口(8012)连接。

10.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，还包括抽真空装置(900)，与所述反应腔(200)连接。