[实用新型]一种硅料微波真空烘干机

权利要求书

1.一种硅料微波真空烘干机，其特征在于，包括用于清洗硅料的硅料清洗箱、多个用于烘干清洗后的硅料的真空烘干装置和用于实现硅料在硅料清洗箱和真空烘干装置之间转移的机械臂输送装置，所述真空烘干装置包括设有箱门的真空烘干箱和与所述真空烘干箱连通的真空泵，所述真空烘干箱上设置有若干个用于对真空烘干箱内的硅料进行加热的微波加热装置。

2.根据权利要求1所述的硅料微波真空烘干机，其特征在于，硅料清洗箱内设置有能够对硅料清洗箱内的清洗液进行加热的加热装置。

3.根据权利要求1所述的硅料微波真空烘干机，其特征在于，所述真空烘干箱的侧壁上设置有多个用于连接所述微波加热装置的连接口，微波加热装置包括微波发热器、与微波发生器连接的微波传送波导以及与微波发生器连接的散热器，所述微波传送波导连接于所述连接口处的真空烘干箱上。

4.根据权利要求3所述的硅料微波真空烘干机，其特征在于，所述真空烘干箱上设置有微波加热保护罩，若干个微波加热装置均设置于微波加热保护罩内，所述微波加热保护罩上设置有通风口。

5.根据权利要求1所述的硅料微波真空烘干机，其特征在于，还包括主框架，所述硅料清洗箱和多个真空烘干装置均设置于所述主框架内部，所述主框架由多个子框架拼接而成，所述硅料清洗箱和多个真空烘干装置分布于多个子框架内。

6.根据权利要求5所述的硅料微波真空烘干机，其特征在于，所述主框架由第一子框架和第二子框架拼接而成，所述硅料清洗箱设置于所述第一子框架内，多个真空烘干装置设置于所述第二子框架内，所述机械臂输送装置设置于所述真空烘干装置和硅料清洗箱的上方,所述机械臂输送装置包括用于抓取硅料的取料组件、用于带动取料组件升降的升降组件和用于带动升降组件水平滑动的水平滑动组件，所述水平滑动组件包括滑轨、滑动连接于所述滑轨上的滑座、固定连接于所述滑座上的第一电机、与所述第一电机的输出端连接的齿轮和与所述齿轮啮合的且对应滑轨设置的齿条,所述升降组件固定连接于所述滑座上，所述升降组件为链轮链条驱动，所述滑轨包括设置于第一子框架上的第一滑轨和设置于第二子框架上的可与第一滑轨配合连接的第二滑轨，所述齿条包括设置于第一子框架上的第一齿条和设置于第二子框架上的可与第一齿条配合连接的第二齿条，第一子框架和第二子框架拼接处还设置有相互配合连接的第一连接板和第二连接板。

7.根据权利要求1所述的硅料微波真空烘干机，其特征在于，还包括多个用于盛放待烘干硅料的料篮，所述料篮的两端设置有第一齿轮盘，所述第一齿轮盘上设置有支撑杆，所述真空烘干箱内相对的两侧壁上设置有用于支撑所述料篮使其在真空烘干箱内旋转的U形座，所述料篮通过电机齿轮驱动实现在真空烘干箱内旋转。

8.根据权利要求7所述的硅料微波真空烘干机，其特征在于，所述料篮设置为可开合的圆筒形结构。

9.根据权利要求7或8所述的硅料微波真空烘干机，其特征在于，所述真空烘干箱的侧壁上设置有第三电机，所述第三电机的输出端上连接有旋转轴，所述旋转轴上连接有与所述第一齿轮盘配合的第二齿轮，所述旋转轴穿过所述真空烘干箱，所述第三电机位于真空烘干箱的外侧，第二齿轮设置于真空烘干箱的内部。

10.根据权利要求7所述的硅料微波真空烘干机，其特征在于，还包括用于放置待烘干硅料的上料台和用于放置烘干后的硅料的出料放置装置,所述机械臂输送装置设置于所述上料台、硅料清洗箱、真空烘干装置和出料放置装置的上方用于实现硅料在上料台、硅料清洗箱、真空烘干装置和出料放置装置之间的转移，所述出料放置装置上设置有第二链条，所述第二链条通过第四电机和第二链轮配合驱动，所述料篮置于所述第二链条上通过第二链条向外输送。