[实用新型]一种半导体设备CVD装置Dome部件清洗保护治具有效
| 申请号： | 202021601090.7 | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN212665835U | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 周毅;张正伟 | 申请（专利权）人： | 安徽富乐德科技发展股份有限公司 |
| 主分类号： | B24C9/00 | 分类号： | B24C9/00;B24C1/08;B24B41/06;B24B27/033 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 cvd 装置 dome 部件 清洗 保护 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体设备CVD 装置Dome部件清洗保护治具，其特征是：包括底座（4）、上托架（1）、支撑螺杆（5）和中间支座（6），所述上托架（1）通过连接螺杆（2）固定在底座（4）上方，底座（4）上表面设有凹槽（7），凹槽（7）内设有支撑螺杆（5），支撑螺杆（5）一端连接凹槽（7）侧壁，另一端连接凹槽（7）中心位置的中间支座（6），中间支座（6）上还设有矩形弹簧（3）。
2.根据权利要求1所述的一种半导体设备CVD 装置Dome部件清洗保护治具，其特征是：所述上托架（1）上设有抓取槽（8）。
3.根据权利要求1所述的一种半导体设备CVD 装置Dome部件清洗保护治具，其特征是：所述上托架（1）为圆形，内径小于Dome部件下环面外径。
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