[实用新型]一种用于玻璃量测的光谱测量仪有效
申请号: | 202021601379.9 | 申请日: | 2020-08-04 |
公开(公告)号: | CN212988272U | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 侯峰;王冠文;庄得粮;关力 | 申请(专利权)人: | 长园半导体设备(珠海)有限公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人: | 孙柳 |
地址: | 519080 广东省珠海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 玻璃 光谱 测量仪 | ||
本实用新型公开了一种用于玻璃量测的光谱测量仪,光谱测量仪包括模组座、入射组件和反射组件;通过模组座形成一腔体,通过入射组件接入待测物体反射会的反射光线,并将其传输到模组座的腔体内,然后通过反射组件将反射光线反射到模组座的腔体底部的反射式光栅组件,并将反射光线反射回设于模组座顶部的控制板收集待测玻璃反射回的反射光线发送至外部的光谱分析仪进行光谱分析,进而得出待测玻璃的厚度。本实用新型提供的光谱测量仪具有结构简单,操作方便,适应性广等特点。
技术领域
本实用新型涉及玻璃量测,尤其涉及一种用于玻璃量测的光谱测量仪。
背景技术
共焦纤维术已发展多年,常用于超精密检测应用,主要可分为镭射共焦和色散共焦。其中,镭射共焦可提供高分辨率,但是其速度慢,高解析模式下常常需要数小时至1天才能完成3D成像,故不适用于生产线检测。色散共焦虽然无法达到类似共焦的精度,但是在成像速度上较快,较适合于生产线的应用检测,更适合应用于玻璃量测。
而对于色散式共焦来实现玻璃量测时,一般包括对光源进行处理,然后将光源照射到玻璃上,最终收集玻璃反射回的光线并进行光谱分析计算得出玻璃的厚度。但是,对于将光源照射到玻璃的表面上时,对于光源以及待测玻璃的位置等需要借助设备来实现,一般采用光谱测量仪来实现。但是现有的光谱测量仪其结构以及操作较为复杂,非专业人员不能使用,导致操作门槛较高,不便于普通人员使用。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足,本实用新型的目的在于提供一种用于玻璃量测的光谱测量仪,其能够解决现有技术中的用于玻璃测量的光谱仪的结构复杂、操作门槛高等问题。
本实用新型的目的采用如下技术方案实现:
一种用于玻璃量测的光谱测量仪,所述光谱测量仪包括模组座、入射组件和反射组件;其中,
所述模组座包括第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁、第四侧壁、底壁、第一顶板、第二顶板和第五侧板;其中,所述第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁、第四侧壁均设于底壁上,并且第一侧壁与第二侧壁对称设置、第三侧壁与第四侧壁对称设置,第一顶板设于第三侧壁的上方并与第三侧壁形成一锐角,第二顶板设于第四侧壁的上方并与第四侧壁形成90度角,第五侧板的一侧边与第二顶板形成90度角、另一侧边与第一顶板形成锐角,从而形成所述模组座的腔体;
第五侧板上设有第一开孔;所述入射组件包括接头、转接座以及设于转接座内的第二光路;所述接头的一端通过光纤计入待测玻璃反射回的反射光线,另一端与第二光路连通,用于将反射光线通过第二光路传输至第一开孔,进而通过第一开孔传输到所述模组座的腔体内;
第一侧壁上设有第二开孔;所述反射组件包括反射镜安装组件和反射镜;反射镜安装组件的一端设于模组座外,反射镜安装组件的另一端安装有反射镜,并通过第二开孔延伸于模组座的腔体内;所述反射镜,用于将通过第一开孔输送到模组座腔体内的反射光线发射到安装于所述模组座的腔体底部的反射式光栅组件上;所述反射式光栅组件用于对反射光线进行反射;
第一顶板上安装有控制板,并且第一顶板上设有第四开孔;所述反射光线被反射式光栅组件反射后通过第四开孔被控制板接收,从而使得控制板将反射光线发送至外部的光谱分析仪,从而使得光谱分析仪对待测玻璃反射回的反射光线进行光谱分析得出待测玻璃的厚度。
进一步地,所述第一顶板上安装有安装板,所述控制板设于所述安装板的上方;所述安装板上设有第三开孔;第三开孔与第四开孔正对设置,所述安装板与所述第一顶板通过螺钉固定连接;所述反射光线依次经过第三开孔、第四开孔后被控制板接收。
进一步地,所述安装板上还设有控制板安装架,所述控制板安装于控制板安装架上。
进一步地,所述控制板安装架通过螺钉与安装板固定连接。
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