[实用新型]一种大型超硬纳米薄膜涂层设备

权利要求书

1.一种大型超硬纳米薄膜涂层设备，其特征在于：包括

滑阀泵（1）：泵体内装有滑阀，滑阀内装有偏心轮，偏心轮通到泵缸外面的轴带动旋转，滑阀的外圆在泵缸的表面进行滑动，滑阀上部在半圆形滑阀导轨中自由的上下滑动及左右摆动；滑阀上部是中空，气体就通过滑阀的中空部分，被压缩的气体顶开排气阀排出泵外，如此循环工作；

预抽阀（2）：在滑阀泵启动后，预抽阀主要用作粗抽时打开，即抽低真空时使用，高抽时关闭；

前级阀（3）：粗抽完成关闭预抽阀后，在抽高真空时开启使用；

扩散阀（4）：泵体内扩散泵油经加热蒸发成蒸汽，经导流管、喷嘴形成高速蒸汽射流作为工作介质，被抽气体靠扩散和携带作用被蒸汽射流带到泵壁，油蒸汽冷凝后返回泵底，气体被逐级压缩，最后被喷射级蒸汽流携带到前级，被前级泵抽走；

高阀（5）：粗抽完成关闭预抽阀，打开前级阀后开启，抽高真空时使用；

真空镀膜室（6）：将需涂层产品，按工艺要求悬挂在真空室内的悬架上，利用真空辉光放电，加速正离子使其轰击靶材表面而引起的溅射现象，使靶材表面释放出的原子和分子沉积到产品上而形成薄膜；

所述真空镀膜室（6）包括镀膜室主体（61）、旋转挂架结构（62）、镀膜室门结构（63）和辉光放电结构（64），所述旋转挂架结构（62）设置在镀膜室主体（61）中间位置，所述镀膜室门结构（63）设置在镀膜室主体（61）侧边，所述辉光放电结构（64）设置在镀膜室主体（61）内部靠近内壁侧；所述镀膜室门结构（63）为双层结构，所述双层结构中设置有脉冲电磁发生器。

2.根据权利要求1所述的大型超硬纳米薄膜涂层设备，其特征在于：所述旋转挂架结构（62）包括旋转电机（621）、联轴器（622）、第一轴承座（623）、第一连接轴结构（624）、挂具结构（625）、第二连接轴结构（626）和第二轴承座（627），所述旋转电机（621）通过联轴器（622）与设置在第一轴承座（623）内的第一连接轴结构（624）一端连接，所述第一连接轴结构（624）一端和第一连接轴结构（624）远离联轴器（622）的一端连接，另一端和设置在第二轴承座（627）内的第二连接轴结构（626）一端连接。

3.根据权利要求2所述的大型超硬纳米薄膜涂层设备，其特征在于：所述第一连接轴结构（624）远离固定联轴器（622）一端的端部设有定位孔（6241）。

4.根据权利要求2所述的大型超硬纳米薄膜涂层设备，其特征在于：所述挂具结构（625）包括挂具转轴（6251）和挂具组件（6252），所述挂具组件（6252）有若干组，依次设置在挂具转轴（6251）上。

5.根据权利要求4所述的大型超硬纳米薄膜涂层设备，其特征在于：所述挂具转轴（6251）挂具组件（6252）固定段为十二面体设置，所述十二面体平面上设有若干等间距设置的固定螺纹孔（62511）。

6.根据权利要求4所述的大型超硬纳米薄膜涂层设备，其特征在于：所述挂具组件（6252）包括固定环（62521）和挂杆（62522），所述固定环（62521）为内外面为平行设置的十二面体，所述挂杆（62522）共有六组，以固定环（62521）轴心为中心呈圆周阵列设置在固定环（62521）外侧。

7.根据权利要求6所述的大型超硬纳米薄膜涂层设备，其特征在于：所述固定环（62521）上设有沉头孔（625211），所述共有六组，以固定环（62521）轴心为中心呈圆周阵列设置在固定环（62521）外侧且和挂杆（62522）错开设置。

8.根据权利要求2所述的大型超硬纳米薄膜涂层设备，其特征在于：所述第二连接轴结构（626）包括连接轴体（6261）、转轴（6262）和固定块（6263），所述固定块（6263）和连接轴体（6261）通过转轴（6262）连接。