[实用新型]一种无残留的在线配气系统

权利要求书

1.一种无残留的在线配气系统，其特征在于：包括两路零气通路和标气通路、混气室、排气通路、废气通路，所述第一零气通路与标气通路并联连接混气室，混气室连接排气通路，所述第二零气通路连接排气通路，所述混气室还连接废气通路。

2.根据权利要求1所述的无残留的在线配气系统，其特征在于：所述第一零气通路包括通过管路依次连通的第一三通、第一质量流量控制器、第二三通、第三三通。

3.根据权利要求2所述的无残留的在线配气系统，其特征在于：所述标气通路包括通过管路依次连接的第二质量流量控制器和变径两通，所述变径两通与第三三通连接，所述混气室也与第三三通连接。

4.根据权利要求3所述的无残留的在线配气系统，其特征在于：所述排气通路包括依次通过管路连接的第一三通电磁阀和第二三通电磁阀，所述混气室通过第四三通连接第一三通电磁阀。

5.根据权利要求4所述的无残留的在线配气系统，其特征在于：所述第二零气通路包括通过管路依次连通的第一三通、第一质量流量控制器、第二三通，所述第二三通与第一三通电磁阀连接。

6.根据权利要求4所述的无残留的在线配气系统，其特征在于：所述混气室通过第四三通与废气通路连接。

7.根据权利要求3所述的无残留的在线配气系统，其特征在于：还包括环境空气通路，所述环境空气通路连接排气通路的第二三通电磁阀。

8.根据权利要求7所述的无残留的在线配气系统，其特征在于：所述环境空气通路上设置有纳分管。

9.根据权利要求8所述的无残留的在线配气系统，其特征在于：所述第二三通电磁阀与纳分管连接。