[实用新型]一种激光干涉仪光路准直支撑装置

说明书

一种激光干涉仪光路准直支撑装置，包括激光干涉仪支撑机构和线性干涉仪支撑机构；激光干涉仪支撑机构包括相连接的三脚架和云台，云台包括激光干涉仪支撑平台和云台配结器，在激光干涉仪支撑平台上设置有用于安装激光干涉仪的固定结构和水平泡，云台配结器内置有驱动激光干涉仪支撑平台水平扭摆的转动组件以及驱动水平前后移动的移动组件；线性干涉支撑机构包括干涉镜支撑平台、微调滑块和连接杆，干涉支撑平台与激光干涉仪支撑平台连接，在干涉镜支撑平台上安装有微调滑块，微调滑块上固定连接有连接杆。本实用新型不浪费空间，并能进行稳定的调整，将激光干涉仪发射器发出的激光与所测机床运动轴的移动方向调整平行。

技术领域

本实用新型涉及计量领域，具体说的是一种激光干涉仪光路准直支撑装置。

背景技术

目前，使用激光干涉仪对数控机床线性位置精度测量是国际上通用的方法。在对数控机床线性位置精度测量之前，光路准直是很重要的一项工作。

使用激光干涉仪对数控机床线性位置精度的测量一般包括三根运动轴，即两根互相垂直的水平运动轴和一根垂直运动轴。

目前，使用激光干涉仪对数控机床水平方向线性位置精度测量的常用布局有两种：第一种布局是将激光干涉仪架设在机床外支架上，线性反射镜固定在机床工作台上，线性干涉镜位于激光干涉仪和线性反射镜之间并固定在机床主轴上。该布局存在的问题是对于不同的数控机床，工作台移动测量过程中，经常出现线性干涉镜和线性反射镜发生碰撞的现象，不能够完整测量机床整个测量轴线的位置精度，测量数据不全面。第二种布局是激光干涉仪与线性反射镜的固定位置和第一种布局保持一致，区别是将线性干涉镜固定在机床外稳定的支撑物上。由于线性干涉镜固定在机床外面，工作台移动过程中，不会发生线性反射镜和线性干涉镜碰撞的问题，能够完整的测量机床在轴线行程的位置精度。工作中，常用的支撑物是生产车间的桌子或者铸铁块等，如果支撑物的高度达不到测量要求，还需要堆积其它小的支撑物。这种做法又存在以下5个方面的问题：第1，生产车间不一定有合适、稳定的支撑物，寻找支撑物需要花费较长时间，制约检测效率；第2，如果支撑物（桌子或铸铁块等）的高度不合适，需要小的支撑物堆积，支撑物的稳定性很难保证，测量结果也难以保证；第3，线性干涉镜是通过磁性表座固定在支撑物上的，该方法没有微调机构，光路准直时准确度较低；第4，测量过程中，要求支撑物具有稳定的属性，这就需要支撑物的体积和质量很大，移动支撑物不仅需要较大的人力和物力，而且存在较大的安全隐患；第5，有的车间机床周边的空间狭小，没有放置体积较大支撑物的空间。所以传统的布局方法具有测量范围小的缺点，传统的支撑方法具有稳定性差，准确度低，操作繁琐，危险系数高，占用空间大的缺点。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种激光干涉仪光路准直支撑装置，不浪费空间，并能进行稳定的调整，将激光干涉仪发射器发出的激光与所测机床运动轴的移动方向调整平行。

为实现上述技术目的，所采用的技术方案是：一种激光干涉仪光路准直支撑装置，包括激光干涉仪支撑机构和线性干涉仪支撑机构；

所述的激光干涉仪支撑机构包括三脚架和云台，三脚架与云台连接，云台包括激光干涉仪支撑平台和云台配结器，在激光干涉仪支撑平台上设置有用于安装激光干涉仪的固定结构和水平泡，云台配结器内置有驱动激光干涉仪支撑平台水平扭摆的转动组件以及驱动激光干涉仪支撑平台水平前后移动的移动组件；

所述的线性干涉支撑机构包括干涉镜支撑平台、微调滑块和连接杆，干涉支撑平台与激光干涉仪支撑平台连接，在干涉镜支撑平台上安装有可以在干涉镜支撑平台水平移动的微调滑块，微调滑块上固定连接有与线性干涉镜安装端相配合的连接杆。

三脚架上设有用于调整三脚架整体高度的支撑脚伸长锁定装置。

微调滑块上设有微调孔以及对微调滑块进行定位的干涉镜平移滑块固定螺钉。

微调滑块与干涉镜支撑平台之间设有驱动微调滑块垂直于机床运动轴的移动方向移动的调节组件。