[实用新型]一种胶瓶座装置及涂胶显影机

说明书

本实用新型专利公开了一种胶瓶座装置及涂胶显影机，涉及涂胶显影设备领域，该胶瓶座装置包括：固定板；胶瓶套筒，所述胶瓶套筒设置在所述固定板表面，开口朝向远离所述固定板的一侧，用于固定胶瓶，所述胶瓶套筒与所述胶瓶相匹配，且轴线方向与所述固定板呈锐角；储液壶，所述储液壶设置在所述胶瓶套筒一侧，可拆卸装设在所述固定板上，所述储液壶顶部设置有壶口，所述壶口可与涂胶显影机的排液管连接。实现了能够减少胶液浪费，并能够防止排液管堵塞的目的。

技术领域

本实用新型涉及涂胶显影设备领域，具体的说，涉及一种胶瓶座装置及涂胶显影机。

背景技术

涂胶显影机是用来制造半导体的一种设备，一般用于光刻胶涂布及显影等工艺。涂布光刻胶是涂胶显影机在光刻工艺中必要的一步。通常光刻胶是由胶瓶提供，会出现胶瓶低部胶液浪费。此外，涂胶显影机在运行过程中，需要排出废液。通常废液会通过排液管直接排送到厂务排液管。但由于不同工作情况产生废液的黏度与流量不同，通过厂务排液管排送，存在堵塞风险。

因此，能否设计一种涂胶显影装置，能够减少胶液浪费，并能够防止排液管堵塞，是本专利想要解决的问题。

发明内容

针对现有技术存在的以上缺陷，本实用新型提供了一种胶瓶座装置及涂胶显影机，实现了能够减少胶液浪费，并能够处理粘稠废液的目的。

本实用新型提供的技术方案如下：一种胶瓶座装置，包括：固定板；胶瓶套筒，所述胶瓶套筒设置在所述固定板表面，开口朝向远离所述固定板的一侧，用于固定胶瓶，所述胶瓶套筒与所述胶瓶相匹配，且轴线方向与所述固定板呈锐角；储液壶，所述储液壶设置在所述胶瓶套筒一侧，可拆卸装设在所述固定板上，所述储液壶顶部设置有壶口，所述壶口可与涂胶显影机的排液管连接。

本实用新型方案公开了一种胶瓶座装置，一方面通过与固定板呈一定夹角的胶瓶套筒，使胶瓶可以倾斜安装在胶瓶套筒内，胶瓶底面的液体聚集，有效减少胶液的浪费；另一方面，通过在胶瓶套筒一侧设置储液壶，可以使排液管的液体直接排入储液壶，而不是使用较长的管道接入厂务排液管，避免造成粘稠液体堵塞。此外通过在胶瓶套筒侧边设置储液壶的方式也使设备整体集成度较高，布局完善。

进一步地，所述储液壶侧面设置有液位传感器，所述液位传感器靠近所述储液壶顶部。

本实用新型进一步公开了液位传感器，通过在储液壶侧面设置液位传感器，可以对储液壶内的液位实时监控，提醒使用者进行及时清空储液壶，防止液体溢出。

进一步地，该胶瓶座装置还包括套筒固定座，与所述固定板固定连接，所述套筒固定座上表面设置有固定孔，以固定所述胶瓶套筒。

本实用新型进一步公开了套筒固定座，通过套筒固定座可以更加稳固的固定胶瓶套筒，并且在后续的方案中与过滤板起到连接作用。

进一步地，所述固定板表面沿长度方向设置有两个缺口，所述套筒固定座固定在两所述缺口之间，两所述缺口内均设置有所述储液壶；所述套筒固定座表面沿宽度方向设置有两所述固定孔，且分别装设有所述胶瓶套筒。

进一步地，该胶瓶座装置还包括：传感器支架，底端固定在所述固定板上，所述传感器支架顶端呈U字型，与所述液位传感器相配合；所述液位传感器的感应面朝向所述储液壶侧壁，所述液位传感器的主体装设在所述传感器支架上。

本实用新型专利进一步公开了传感器支架，通过该传感器支架将液位传感器固定在固定板上方，且使液位传感器的感应面朝向储液壶侧壁，实现对储液壶内部液位的实时监控。并且解决了如果液位传感器固定在储液壶侧面，则在需要清空储液壶时，液位传感器需要随储液壶一起移动，造成不便的问题。进而，增加了该胶瓶座装置的实用性与可行性。