[实用新型]干冰喷射装置

说明书

本实用新型提供减少了干冰供给部的内部所含的干冰粒通过的流路的堵塞的干冰喷射装置。干冰喷射装置具备喷射嘴、干冰供给部、喷射气体供给部、以及干燥气体供给部。喷射嘴将干冰和喷射气体一起喷射。干冰供给部向喷射嘴供给从喷射嘴喷射的干冰。喷射气体供给部向喷射嘴供给从喷射嘴喷射的喷射气体。干燥气体供给部将用于调整干冰供给部内的相对湿度的干燥气体供给到干冰供给部内。

技术领域

本公开涉及一种喷射干冰的颗粒亦即干冰粒的干冰喷射装置。

背景技术

如专利文献1所记载，公知一种从喷嘴的前端的开口喷射干冰粒的干冰喷射装置。

干冰喷射装置例如用于通过向硅片的表面喷射、吹送干冰粒来清洗硅片的表面。

此处，干冰喷射装置的种类存在直喷式和虹吸式。

在直喷式的干冰喷射装置中，压缩空气、气体所通过的流路和干冰粒所通过的流路是共用的。利用该压缩空气、气体来从喷射嘴前端的喷嘴开口喷射干冰粒。

另一方面，在虹吸式的干冰喷射装置中，压缩空气、气体所通过的流路和干冰粒所通过的流路分别设置，两流路在喷射口的附近连接。若从喷射口喷射压缩空气、气体，则与压缩空气、气体所通过的流路相连的干冰粒所通过的流路变成负压。干冰粒被吸出至压缩空气、气体所通过的流路，并与压缩空气、气体一起从喷嘴的前端的喷射口喷射。

若比较直喷式和虹吸式，则一般而言，由于虹吸式的压缩空气、气体的流路和干冰粒所通过的流路分别独立，所以压缩空气、气体的热量难以传递到干冰粒，从而能够抑制干冰粒气化。其结果，能够减少由干冰喷射装置消耗的干冰的量。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-119840号公报

实用新型内容

实用新型所要解决的课题

在干冰喷射装置中，在干冰粒所通过的流路内，空气中所含有的水蒸气被干冰冷却，由此空气中所含有的水蒸气冷凝而产生水分，所产生的水分凝固而成为冰、霜。所产生的冰、霜起到将邻接的干冰粒连接的粘接剂的作用。多个干冰粒由冰、霜连接而成的块成为流路堵塞的原因。

尤其，虹吸式的干冰喷射装置与直喷式的干冰喷射装置相比，喷射干冰粒的力较弱。因此，在虹吸式的干冰喷射装置中，存在容易发生因多个干冰粒由冰、霜连接而成的块所致的干冰粒所通过的流路的堵塞的问题。

本公开的一个方案的目的在于，提供一种减少了干冰供给部内部所含有的干冰粒通过的流路的堵塞的干冰喷射装置。

用于解决课题的方案

本公开的一个方式是一种干冰喷射装置，具备喷射嘴、干冰供给部、喷射气体供给部、以及干燥气体供给部。喷射嘴将干冰和喷射气体一起进行喷射。干冰供给部将从喷射嘴喷射的干冰供给到喷射嘴。喷射气体供给部将从喷射嘴喷射的喷射气体供给到喷射嘴。干燥气体供给部将用于调整干冰供给部内的相对湿度的干燥气体供给到干冰供给部内。

具体地，本实用新型提供如下的方案。

方案一是一种干冰喷射装置，其特征在于，具备：将干冰和喷射气体一起喷射的喷射嘴；将从上述喷射嘴喷射的上述干冰供给到上述喷射嘴的干冰供给部；将从上述喷射嘴喷射的上述喷射气体供给到上述喷射嘴的喷射气体供给部；以及将用于调整上述干冰供给部内的相对湿度的干燥气体供给到上述干冰供给部内的干燥气体供给部。

方案二的干冰喷射装置是在方案一的干冰喷射装置的基础上，其特征在于，上述干冰供给部具有：储存上述干冰的干冰储存部；和构成从上述干冰储存部向上述喷射嘴供给上述干冰的流路的供给管。