[实用新型]一种单晶硅棒切方切割头装置有效

专利信息
申请号: 202021627359.9 申请日: 2020-08-07
公开(公告)号: CN213471763U 公开(公告)日: 2021-06-18
发明(设计)人: 徐永亮;张红臣;岳甫;邱超 申请(专利权)人: 浙江昀丰新材料科技股份有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00
代理公司: 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 代理人: 逯长明;许伟群
地址: 321000 浙江省金华*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶硅 棒切方 切割 装置
【权利要求书】:

1.一种单晶硅棒切方切割头装置,其特征在于,包括:

驱动机构,所述驱动机构包括第一伺服电机、第二伺服电机、第三伺服电机和第四伺服电机,所述第一伺服电机的轴与第二伺服电机的轴相垂直,所述第三伺服电机的轴与第二伺服电机的轴相垂直,且第三伺服电机的轴与第一伺服电机的轴相平行,所述第四伺服电机的轴与所述第三伺服电机的轴相垂直,且所述第四伺服电机的轴与第二伺服电机的轴相平行;

切割机构,所述切割机构包括金刚线和切割盘片,所述第一伺服电机、第二伺服电机、第三伺服电机和第四伺服电机的轴上均置有两个切割盘片,所述第一伺服电机上的两个切割盘片与第三伺服电机上设置的两个切割盘片相对应,所述第二伺服电机上的两个切割盘片与第四伺服电机上的两个切割盘片相对应,所述金刚线缠绕在八个所述切割盘片上,所述金刚线缠绕在八个所述切割盘片的后的形状呈“井”字形;

固定机构,所述固定机构包括切割头机架、维护盖板和密封垫,所述切割头机架呈矩形框架形,所述切割头机架的其中两个对角处均设置有放置盒,所述第一伺服电机、第二伺服电机设置在其中一个放置盒内,所述第三伺服电机和第四伺服电机设置在其中另外一个放置盒内,所述维护盖板具有两个,分别可拆卸的设置在两个所述放置盒上,所述密封垫设置在所述放置盒与所述维护盖板之间。

2.根据权利要求1所述的单晶硅棒切方切割头装置,其特征在于,所述驱动机构还包括第一联轴器、第一主辊、第二联轴器、第二主辊、第三联轴器、第三主辊、第四联轴器和第四主辊;

所述第一联轴器一端连接在第一伺服电机的轴输出端,另一端连接在第一主辊的输入端;

所述第二联轴器一端连接在第二伺服电机的轴输出端,另一端连接在第二主辊的输入端;

所述第三联轴器一端连接在第三伺服电机的轴输出端,另一端连接在第三主辊的输入端;

所述第四联轴器一端连接在第四伺服电机的轴输出端,另一端连接在第四主辊的输入端。

3.根据权利要求2所述的单晶硅棒切方切割头装置,其特征在于,所述驱动机构还包括第一轴承座、第二轴承座、第三轴承座和第四轴承座,

所述第一轴承座具有两个,其中一个设置在第一主辊的主动端且与第一联轴器连接,另外一个设置在所述第一主辊的从动端;

所述第二轴承座具有两个,其中一个设置在第二主辊的主动端且与第二联轴器连接,另外一个设置在所述第二主辊的从动端;

所述第三轴承座具有两个,其中一个设置在第三主辊的主动端且与第三联轴器连接,另外一个设置在所述第三主辊的从动端;

所述第四轴承座具有两个,其中一个设置在第四主辊的主动端且与第四联轴器连接,另外一个设置在所述第四主辊的从动端。

4.根据权利要求3所述的单晶硅棒切方切割头装置,其特征在于,还包括固定机构,所述固定机构包括切割头机架,所述切割头机架呈矩形框架形,所述切割头机架的四个角处均设置有放置盒,所述第一伺服电机、第二伺服电机、第三伺服电机和第四伺服电机分别设置在四个放置盒内。

5.根据权利要求4所述的单晶硅棒切方切割头装置,其特征在于,所述切割机构还包括换向导轮,所述换向导轮具有八个,所述切割头机架的四条边的下方且对应八个切割盘片位置设置有八个换向导轮,所述金刚线通过所述换向导轮绕设在所述切割盘片并形成“井”字形;

所述第一主辊上切割盘片上的金刚线与第三主辊上切割盘片上的金刚线处于一个平面;

所述第二主辊上切割盘片上的金刚线与第四主辊上切割盘片上的金刚线处于一个平面;形成两层线网。

6.根据权利要求5所述的单晶硅棒切方切割头装置,其特征在于,所述固定机构还包括维护盖板,所述维护盖板具有四个,分别盖设在四个所述放置盒上。

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