[实用新型]激光诱导击穿光谱扫描分析仪

权利要求书

1.一种激光诱导击穿光谱扫描分析仪，其特征在于，包括：脉冲激光器(1)，机械快门(2)，扩束器(3)，光电探测器(4)，二向色镜(5)，光纤耦合器(6)，光纤(7)，光谱仪(8)，分光片(9)，聚焦镜头(12)，激光定位器(16)，三维电动位移台(17)，电缆(18)；

其中，所述脉冲激光器(1)用于发出激光，所述机械快门(2)通过开合控制所述脉冲激光器(1)发出的激光进入所述扩束器(3)，所述扩束器(3)用于对所述激光进行扩束，所述二向色镜(5)用于将扩束的激光分为第一反射激光光束和第一透射激光光束；所述第一反射激光光束通过所述分光片(9)和聚焦镜头(12)聚焦于所述三维电动位移台(17)，所述三维电动位移台(17)用于放置待检测物体，所述聚焦镜头(12)用于将激光聚焦于待测物体表面产生等离子体，所述等离子体发出LIBS信号光，所述LIBS信号光通过所述聚焦镜头(12)和所述分光片(9)分为第二透射光束和第二反射光束，所述第二透射光束经所述二向色镜(5)透射后的信号光由所述光纤耦合器(6)进行收集，所述光纤耦合器(6)采集的信号经过光纤(7)传导后进入光谱仪(8)，所述光谱仪(8)用于进行光谱探测；经过所述二向色镜(5)发出第一透射激光光束由所述光电探测器(4)进行信号探测并转换为电信号，所述电信号由所述电缆(18)传输至所述光谱仪(8)，所述光谱仪(8)用于在所述电信号的外部触控下进行光谱探测。

2.根据权利要求1所述的激光诱导击穿光谱扫描分析仪，其特征在于，所述激光诱导击穿光谱扫描分析仪还包括：喷嘴(15)，所述喷嘴(15)用于在与喷气装置对接后，释放高压气体吹散激光聚焦过程中的溅射固体颗粒，或释放用以增强等离子体信号的缓冲气体。

3.根据权利要求2所述的激光诱导击穿光谱扫描分析仪，其特征在于，所述喷嘴(15)用于在与抽气装置对接后，抽取激光聚焦过程中的溅射固体颗粒。

4.根据权利要求3所述的激光诱导击穿光谱扫描分析仪，其特征在于，所述激光诱导击穿光谱扫描分析仪还包括：环形光源(13)，微型摄像头(14)，所述环形光源(13)用于对所述三维电动位移台(17)上的物体表面照亮，所述微型摄像头(14)用于拍摄所述三维电动位移台(17)上被照亮的物体表面。

5.根据权利要求4所述的激光诱导击穿光谱扫描分析仪，其特征在于，所述激光诱导击穿光谱扫描分析仪还包括：成像镜头(10)和摄像头(11)，所述三维电动位移台(17)上被所述环形光源(13)照亮的物体表面发出的光信号将通过所述聚焦镜头(12)、所述分光片(9)反射进入成像镜头(10)，并在摄像头(11)上成像，其中，所述第二反射光束为所述三维电动位移台(17)上被所述环形光源(13)照亮的物体表面发出的光信号通过所述聚焦镜头(12)、所述分光片(9)反射的信号光。

6.根据权利要求5所述的激光诱导击穿光谱扫描分析仪，其特征在于，所述激光诱导击穿光谱扫描分析仪还包括：激光定位器(16)，所述激光定位器(16)用于确定所述三维电动位移台(17)上放置的待测物体表面处于激光聚焦点位置处。

7.根据权利要求5所述的激光诱导击穿光谱扫描分析仪，其特征在于所述机械快门(2)、所述光谱仪(8)、所述摄像头(11)、所述微型摄像头(14)、所述激光定位器(16)、所述环形光源(13)、所述三维电动位移台(17)，均由计算机连接并同步时序。