[实用新型]一种硅棒切割机构有效

专利信息
申请号: 202021635886.4 申请日: 2020-08-07
公开(公告)号: CN213593322U 公开(公告)日: 2021-07-02
发明(设计)人: 李波;方捷;王小钊;虞慧华;吴超;林光展;林冬;刘林炎;苏宇华;林桂峰 申请(专利权)人: 福州天瑞线锯科技有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/00
代理公司: 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 代理人: 黄以琳;张忠波
地址: 350100 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 切割 机构
【说明书】:

本实用新型涉及一种硅棒切割机构,包括安装板、第一滚轮、第二滚轮、第一切割线以及第二切割线。第一滚轮和第二滚轮沿轴向方向设置有两个以上的线槽,第一切割线以及第二切割线分别置于一对线槽内。通过在第一滚轮和第二滚轮上设置两个以上的线槽,并在线槽上套设第一切割线和第二切割线,第一切割线和第二切割线同时对硅棒进行切割,一次切割进给可以对硅棒进行两次切割,完成一个或两个硅片的切割,大大提高切割效率,或者当第一滚轮和第二滚轮的某一线槽磨损后,可以通过将第一切割线或者第二切割线换至其他线槽,从而节省更换和维护时间,大大提高切割效率。

技术领域

本实用新型涉及硅棒加工设备领域,特别涉及一种硅棒切割机构。

背景技术

单晶硅棒切割工序中,一般都是先将硅棒(即圆棒)截去头料、取头片、分段、取尾片、去尾料,切割出硅块(即方棒或准方棒),再对硅块进行切片,切割出硅片。当前一般采用电镀金刚石线来切割。电镀金刚石线分长线(两端不闭合)和环线(两端闭合)两种。当采用环线切割时,一般一套轮系只能挂一根环线进行切割,去头料、取头片(或去尾料、取尾片)时就必须切割两次,效率较低。

需要采用一种合理的轮系布局,使一套轮系上可同时挂两根金刚石环形线,一次切割就可完成去头料和取头片(或是去尾料和取尾片)两个工序,可以显著提高切割效率。

实用新型内容

为此,需要提供一种硅棒切割机构,用于解决线锯切割硅棒时,一次切割进给只能切割一刀,效率较低的技术问题。

为实现上述目的,发明人提供了一种硅棒切割机构,包括:

安装板,所述安装板的底部设置有用于给硅棒让位的凹槽;

第一滚轮,所述第一滚轮设置在所述安装板上,所述第一滚轮沿轴向方向设置有两个以上的线槽;

第二滚轮,所述第二滚轮设置在所述安装板上,所述第一滚轮与所述第二滚轮分别设置在所述凹槽的两侧,所述第二滚轮沿轴向方向设置有两个以上的线槽;

第一切割线,所述第一切割线依次通过所述第一滚轮的一个线槽与所述第二滚轮的一个线槽;以及

第二切割线,所述第二切割线依次通过所述第一滚轮的另一个线槽与所述第二滚轮的另一个线槽;

其中,所述第一切割线与所述第二切割线在所述轴向方向上相互平行。

作为本实用新型的一种优选结构,所述硅棒切割机构还包括张紧组件,所述张紧组件设置在所述安装板上,所述张紧组件用于对所述第一切割线、所述第二切割线进行张紧。

作为本实用新型的一种优选结构,所述张紧组件包括第一张紧轮以及第二张紧轮,所述第一张紧轮的位置相对于所述第一滚轮的位置设置,所述第二张紧轮的位置相对于所述第二滚轮的位置设置,所述第一张紧轮用于对第一切割线进行张紧,所述第二张紧轮用于对第二切割线进行张紧。

作为本实用新型的一种优选结构,所述张紧组件包括摆臂构件以及驱动构件,所述驱动构件与所述摆臂构件的一端连接,所述驱动构件用于驱动所述摆臂构件对所述第一切割线、所述第二切割线进行张紧。

作为本实用新型的一种优选结构,所述驱动构件为重锤、伺服电机、气缸油缸,其中任意一种。

作为本实用新型的一种优选结构,所述第一切割线的长度等于所述第二切割线的长度。

作为本实用新型的一种优选结构,所述硅棒切割机构还包括驱动组件,所述驱动组件安装在所述安装板上,所述驱动组件的转动轴与所述第一滚轮或所述第二滚轮传动连接,所述驱动组件用于驱动所述第一滚轮或所述第二滚轮转动,从而带动所述第一切割线与所述第二切割线运动。

作为本实用新型的一种优选结构,所述第一滚轮与所述第二滚轮的线槽上均设置有弹性层,所述第一切割线与所述第二切割线分别通过弹性层与所述第一滚轮与所述第二滚轮的线槽相接触。

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