[实用新型]一种五氟化磷气高效自动固化反应装置

权利要求书

1.一种五氟化磷气高效自动固化反应装置，其特征在于：它包含反应仓(1)、送气仓(2)、气体反应余量仓(3)、抽气泵(4)、管道(5)、出气单向阀(6)、连接管件(7)、密封件(8)、温度控制器(9)；防腐蚀板(11)、第一缓冲腔(12)、卡接件(13)、第二缓冲腔(21)；所述的反应仓(1)左侧设置有送气仓(2)，送气仓(2)右侧设置有抽气泵(4)，送气仓(2)、抽气泵(4)通过左侧的管道(5)连接于反应仓(1)，左侧的管道(5)一端伸入送气仓(2)内部，管道(5)另一端伸入反应仓(1)内部；所述的反应仓(1)右侧设置有气体反应余量仓(3)，气体反应余量仓(3)左侧设置有出气单向阀(6)，出气单向阀(6)通过连接管件(7)与气体反应余量仓(3)安装连接，且出气单向阀(6)通过右侧的管道(5)与反应仓(1)连接；反应仓(1)外部左右侧与管道(5)的连接处设置有密封件(8)，所述的反应仓(1)上部设置有温度控制器(9)，温度控制器(9)与计算机控制设备电信号连接。

2.根据权利要求1所述的一种五氟化磷气高效自动固化反应装置，其特征在于：所述的送气仓(2)内部设有辅助进气管道(10)。

3.根据权利要求1所述的一种五氟化磷气高效自动固化反应装置，其特征在于：所述的反应仓(1)内部上下部均设置有防腐蚀板(11)。

4.根据权利要求1所述的一种五氟化磷气高效自动固化反应装置，其特征在于：所述的反应仓(1)左右两侧管道(5)伸入位置处为第一缓冲腔(12)。

5.根据权利要求1所述的一种五氟化磷气高效自动固化反应装置，其特征在于：所述的送气仓(2)右侧管道(5)伸入位置处为第二缓冲腔(21)。

6.根据权利要求1所述的一种五氟化磷气高效自动固化反应装置，其特征在于：所述的反应仓(1)内部左右两侧与管道(5)的连接处设置有卡接件(13)。