[实用新型]一种组合式真空镀膜设备

权利要求书

1.一种组合式真空镀膜设备，包括真空镀膜机箱(1)、机箱(2)和连接管(3)，其特征在于：所述真空镀膜机箱(1)右端通过连接管(3)贯穿连接机箱(2)，所述真空镀膜机箱(1)外侧固定安装有编辑器(5)，所述真空镀膜机箱(1)外侧固定安装有安全门(6)，所述安全门(6)外侧固定安装有门把(7)，所述真空镀膜机箱(1)上端固定安装有容纳箱(9)。

2.根据权利要求1所述的一种组合式真空镀膜设备，其特征在于：所述真空镀膜机箱(1)外侧固定安装有数值仪表(4)，安全门(6)外侧固定连接设有观察镜(8)。

3.根据权利要求1所述的一种组合式真空镀膜设备，其特征在于：所述真空镀膜机箱(1)内部上端固定连接设有升降杆(11)，所述升降杆(11)下端活动连接设有旋转板(12)，所述旋转板(12)内侧固定安装有蒸发电极(13)，所述旋转板(12)下端固定安装有加热器(14)。

4.根据权利要求1所述的一种组合式真空镀膜设备，其特征在于：所述机箱(2)内部下端固定安装有真空泵(17)，所述真空泵(17)内侧固定安装有逆止阀(18)。

5.根据权利要求4所述的一种组合式真空镀膜设备，其特征在于：所述真空泵(17)前端固定安装有过滤网(16)，所述真空泵(17)内后端设活动连接有叶轮(19)，所述叶轮(19)末端固定安装有出气口(20)。

6.根据权利要求1所述的一种组合式真空镀膜设备，其特征在于：所述机箱(2)内部上端固定安装有冷却泵(22)，所述冷却泵(22)末端固定安装有进水口(21)。

7.根据权利要求1所述的一种组合式真空镀膜设备，其特征在于：所述容纳箱(9)上端固定连接有散热孔(10)，所述容纳箱(9)内部活动连接设有电机(23)。