[实用新型]一种光刻胶涂覆装置有效
| 申请号： | 202021641383.8 | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN213023933U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 鹿庆文;张锐 | 申请（专利权）人： | 济南紫源电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 沈阳天赢专利代理有限公司 21251 | 代理人： | 陈贞 |
| 地址： | 250200 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 胶涂覆 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种光刻胶涂覆装置，包括箱体(1)以及台板(2)，其特征在于，台板(2)安装于箱体(1)上，所述台板(2)上竖直安装有支板(3)，所述支板(3)上水平安装有横板(4)，所述横板(4)上横向安装有第一丝杆模组(5)，所述第一丝杆模组(5)滑块上安装有第二丝杆模组(6)，所述第二丝杆模组(6)滑块上安装有涂胶组件(7)。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于，所述箱体(1)上安装有显示屏(8)。
3.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于，所述台板(2)上安装有防滑层(9)。
4.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于，所述箱体(1)上安装有旋开门(10)，所述旋开门(10)上安装有把手(11)。
5.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于，所述箱体(1)下侧安装有支脚组件(12)。
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