[实用新型]一种超材料太赫兹生物传感器

权利要求书

1.一种超材料太赫兹生物传感器，包括基底层(5)和介质层(1)，在基底层(5)上设有金属反射层(4)，在介质层(1)上设有金属微结构层(2)，所述金属反射层(4)和金属微结构层(2)之间形成有供被测液体流通的微流通道(3)，基底层(5)上开设有微流通道(3)的进液口(7)和出液口(6)，其特征是，所述金属微结构层(2)为附着在介质层(1)上的周期性结构单元，所述金属微结构层(2)由正方形金属环和置于其中且与其同心的双“H”形交叉金属结构组成，其中双“H”形交叉金属结构由两个结构完全相同的“H”形金属环垂直交叉组成。

2.根据权利要求1所述的超材料太赫兹生物传感器，其特征是，所述金属微结构层(2)在X轴方向的周期为110～130μm，在Y轴方向的周期为110～130μm。

3.根据权利要求2所述的超材料太赫兹生物传感器，其特征是，所述金属微结构层(2)结构中，正方形金属环的外边长(a)为100～110μm，环宽(b)为5～10μm；双“H”形交叉金属结构中“H”形金属环的臂长(c)为25～30μm，臂宽(d)为5～10μm，叶长(e)为35～45μm，叶宽(f)为4～8μm。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的超材料太赫兹生物传感器，其特征是，所述金属微结构层(2)在X轴方向的周期为120μm，在Y轴方向的周期为120μm。

5.根据权利要求4所述的超材料太赫兹生物传感器，其特征是，所述金属微结构层(2)结构中，正方形金属环的外边长(a)为108μm，环宽(b)为8μm；双“H”形交叉金属结构中“H”形金属环的臂长(c)为26μm，臂宽(d)为8μm，叶长(e)为40μm，叶宽(f)为6μm。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的超材料太赫兹生物传感器，其特征是，基底层(5)的厚度为100～120μm，介质层(1)的厚度为2～8μm。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的超材料太赫兹生物传感器，其特征是，金属微结构层(2)的厚度为0.1～0.5μm。

8.根据权利要求1～3中任一项所述的超材料太赫兹生物传感器，其特征是，金属反射层(4)的厚度为0.1～0.5μm。

9.根据权利要求1～3中任一项所述的超材料太赫兹生物传感器，其特征是，微流通道(3)的高度为4～8μm。