[实用新型]涂覆均匀的真空气相沉积系统

权利要求书

1.涂覆均匀的真空气相沉积系统，包括真空气相沉积系统主体(1)，其特征在于：所述真空气相沉积系统主体(1)的内端中心设有第二管件(3)，所述第二管件(3)的侧端固定连接有第一管件(2)，所述第一管件(2)包括限位板(4)、套管(5)、转轴(6)、侧管(7)和中心管(8)，所述套管(5)设在第一管件(2)的内端，所述套管(5)的内端与限位板(4)相固定设置，所述限位板(4)的内端与侧管(7)相固定设置，所述侧管(7)的中心设置中心管(8)，所述侧管(7)和中心管(8)的底部位置与转轴(6)相转动连接设置，所述第二管件(3)包括扣壳(9)、第一连通管(10)、底架(11)、驱动辊架(12)和第二连通管(13)，所述底架(11)设在第二管件(3)的内端底部，所述底架(11)的一端与第一连通管(10)相连通，所述底架(11)的另一端与第二连通管(13)相连通，所述底架(11)的中心与驱动辊架(12)相转动连接设置，所述底架(11)的上端与扣壳(9)相转动连接设置。

2.根据权利要求1所述的涂覆均匀的真空气相沉积系统，其特征在于：所述第二管件(3)内端的扣壳(9)伸缩连接在底架(11)对称设置的一端位置处。

3.根据权利要求1所述的涂覆均匀的真空气相沉积系统，其特征在于：所述第二管件(3)内端的第一连通管(10)和第二连通管(13)设在侧管(7)和中心管(8)的内端位置。

4.根据权利要求1所述的涂覆均匀的真空气相沉积系统，其特征在于：所述第一管件(2)内端的限位板(4)底部位于转轴(6)的连接位置处设有槽体。

5.根据权利要求1所述的涂覆均匀的真空气相沉积系统，其特征在于：所述第一管件(2)内端的转轴(6)与第二管件(3)内端的驱动辊架(12)相转动连接设置。

6.根据权利要求1所述的涂覆均匀的真空气相沉积系统，其特征在于：所述第二管件(3)内端的第一连通管(10)和第二连通管(13)与外界相连通设置，且通过套管(5)、侧管(7)和中心管(8)内端密封。