[实用新型]一种可适时调节磁场角度的孪生旋转溅射阴极装置

权利要求书

1.一种可适时调节磁场角度的孪生旋转溅射阴极装置，其特征在于：包括外部旋转阴极装置和内部旋转磁棒装置，其中所述内部旋转磁棒装置包括磁棒及与所述磁棒独立连接的磁棒旋转控制装置，所述磁棒旋转控制装置连接驱动所述磁棒旋转，所述外部旋转阴极装置包括套设在所述磁棒外围的靶管及与所述靶管相连接的靶管旋转控制装置，所述靶管旋转控制装置连接驱动所述靶管旋转。

2.根据权利要求1所述的一种可适时调节磁场角度的孪生旋转溅射阴极装置，其特征在于：还包括阴极安装法兰，所述外部旋转阴极装置和所述内部旋转磁棒装置的一端均与所述阴极安装法兰安装固定，以构成位于大气侧的单端固定插入式结构。

3.根据权利要求1所述的一种可适时调节磁场角度的孪生旋转溅射阴极装置，其特征在于：所述磁棒旋转控制装置为一布置在大气侧的磁棒电机，所述磁棒电机与所述磁棒之间构成传动配合并连接驱动所述磁棒旋转。

4.根据权利要求1所述的一种可适时调节磁场角度的孪生旋转溅射阴极装置，其特征在于：所述靶管旋转控制装置包括布置在大气侧的靶管电机，所述靶管电机与所述靶管之间构成传动配合并连接驱动所述靶管旋转。

5.根据权利要求1所述的一种可适时调节磁场角度的孪生旋转溅射阴极装置，其特征在于：还包括磁棒定位传感器，所述磁棒定位传感器用于对所述磁棒的旋转位置状态进行测量并将测量结果通过数据交互反馈至所述磁棒旋转控制装置，实现所述磁棒的旋转状态控制。

6.根据权利要求1 所述的一种可适时调节磁场角度的孪生旋转溅射阴极装置，其特征在于：还包括电刷，所述电刷与所述靶管构成电通。

7.根据权利要求1所述的一种可适时调节磁场角度的孪生旋转溅射阴极装置，其特征在于：还包括冷却水管路及其密封结构，所述冷却水管路用于对所述磁棒进行冷却。