[实用新型]一种真空腔进样系统有效
| 申请号： | 202021644793.8 | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN212375375U | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 杨宏;褚赛赛;李小芳;龚旗煌;池彬;赵嘉峰 | 申请（专利权）人： | 北京大学;费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 姜杉 |
| 地址： | 100089*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 空腔 系统 | ||
1.一种真空腔进样系统，其特征在于，包括：中转腔和真空存样腔；
所述真空存样腔包括第一法兰、样品固持装置和第一传样装置；所述第一法兰设置第一阀门；
所述中转腔包括第二法兰、第三法兰、真空泵、传样台和第二传样装置，所述传样台固定至所述第二传样装置；
所述真空泵连通所述真空腔内部；所述第三法兰设置第二阀门；
所述第三法兰密封固定至外部反应腔体；
所述第一法兰可拆卸式固定至所述第二法兰；
所述样品固持装置固定至所述第一传样装置；所述第一传样装置驱动所述样品固持装置进入所述中转腔或退回所述真空存样腔。
2.根据权利要求1所述的一种真空腔进样系统，其特征在于，还包括常压进样门，所述中转腔还包括第四法兰，所述第四法兰密封连接所述常压进样门。
3.根据权利要求2所述的一种真空腔进样系统，其特征在于，所述第三法兰可拆卸式固定至所述外部反应腔体。
4.根据权利要求3所述的一种真空腔进样系统，其特征在于，所述第一法兰和所述第二法兰为CF法兰。
5.根据权利要求4所述的一种真空腔进样系统，其特征在于，所述第一阀门和/或所述第二阀门为闸板阀。
6.根据权利要求5所述的一种真空腔进样系统，其特征在于，所述真空存样腔设置视窗法兰。
7.根据权利要求6所述的一种真空腔进样系统，其特征在于，所述中转腔设置视窗法兰。
8.根据权利要求7所述的一种真空腔进样系统，其特征在于，还包括手提支架，所述真空存样腔固定至所述手提支架。
9.根据权利要求8所述的一种真空腔进样系统，其特征在于，还包括真空计，所述真空计测量所述中转腔内部气压。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京大学;费勉仪器科技（上海）有限公司，未经北京大学;费勉仪器科技（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021644793.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
