[实用新型]一种氦质谱检漏仪的清氦系统

权利要求书

1.一种氦质谱检漏仪的清氦系统，包括氦质谱检漏仪本体(1)，所述的氦质谱检漏仪本体(1)上分别设有进气总管(2)和出气管(3)，其特征在于，还包括控制模块(4)和抽风机(5)，所述的抽风机(5)通过连接管(6)与氦质谱检漏仪本体(1)连通，所述的进气总管(2)上分别设有与其连通的第一进气管(7)、第二进气管(8)，所述的第一进气管(7)上设有第一电磁阀(9)，所述的第二进气管(8)上设有第二电磁阀(10)，所述的出气管(3)上设有第三电磁阀(11)，所述的出气管(3)内设有氦气浓度检测传感器(12)，所述的氦质谱检漏仪本体(1)上还设有警报器(13)，所述的警报器(13)与氦气浓度检测传感器(12)电性连接，所述的氦气浓度检测传感器(12)、第一电磁阀(9)、第二电磁阀(10)、第三电磁阀(11)均与控制模块(4)电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种氦质谱检漏仪的清氦系统，其特征在于，所述的连接管(6)中部开设有插接口(14)，所述的插接口(14)内活动插接有过滤网(15)，所述的过滤网(15)底部设有沟槽板(16)，所述插接口(14)顶部的过滤网(15)上设有封板(17)。

3.根据权利要求2所述的一种氦质谱检漏仪的清氦系统，其特征在于，所述的封板(17)与连接管(6)的相对一面均设有磁铁(18)。

4.根据权利要求2所述的一种氦质谱检漏仪的清氦系统，其特征在于，所述插接口(14)的宽度大于沟槽板(16)的宽度。

5.根据权利要求2所述的一种氦质谱检漏仪的清氦系统，其特征在于，所述的封板(17)顶部设有拉环(19)。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的一种氦质谱检漏仪的清氦系统，其特征在于，所述的抽风机(5)通过减震垫(20)与氦质谱检漏仪本体(1)连接，且所述抽风机(5)与连接管(6)之间通过波纹管(21)连接。