[实用新型]一种VCM马达弹片曝光时赶气吸真空装置有效
| 申请号： | 202021646909.1 | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN212569420U | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 王林;简群飞;姜文超;王晓东 | 申请（专利权）人： | 大连保税区金宝至电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H02K41/035 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116600 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 vcm 马达 弹片 曝光 时赶气吸 真空 装置 | ||
1.一种VCM马达弹片曝光时赶气吸真空装置，包括透明玻璃工作台(2)和X轴导轨(5)，其特征在于：透明玻璃工作台(2)为长方体结构，透明玻璃工作台(2)的表明上具有曝光区域(4)，透明玻璃工作台(2)的左右侧面上分别是左侧Y轴导轨(3)和右侧Y轴导轨(1)，X轴导轨(5)的左右两端底部分别在左侧Y轴导轨(3)和右侧Y轴导轨(1)上，X轴导轨(5)的上部水平，X轴导轨(5)的上部一个侧面上具有轨道(21)，X轴导轨(5)的左右两端向下延伸出一段长度，X轴导轨(5)的左右两端底部分别与左侧Y轴导轨(3)和右侧Y轴导轨(1)配合，X轴导轨(5)的左右两端底部能在左侧Y轴导轨(3)和右侧Y轴导轨(1)上滑动，轨道(21)上滑动连接有中间位置压头滑块(6)和赶气辊滑块(7)，中间位置压头滑块(6)和赶气辊滑块(7)上分别有气缸一(81)和气缸二(82)，气缸一(81)包括有圆导柱(18)，圆导柱(18)上套有铁环(22)和套环(26)，铁环(22)和套环(26)都是通过螺丝(16)固定在圆导柱(18)上；套环(26)在铁环(22)的上部，套环(26)的外表面上与柔性压头(19)的上部边缘之间活动连接有两个连杆(17)；气缸二(82)的气缸连杆(20)与第一赶气辊连杆(12)的一端和第二赶气辊连杆(15)的一端活动连接，第一赶气辊连杆(12)和第二赶气辊连杆(15)之间连接拉力弹簧(13)和铰接连杆(14)，铰接连杆(14)在拉力弹簧(13)的下部，第一赶气辊连杆(12)底部和第二赶气辊连杆(15)底部分别固定连接第一赶气辊(10)和第二赶气辊(11)。
2.根据权利要求1所述的一种VCM马达弹片曝光时赶气吸真空装置，其特征在于：柔性压头(19)为中空的半圆形球体。
3.根据权利要求1所述的一种VCM马达弹片曝光时赶气吸真空装置，其特征在于：柔性压头(19)为柔性材料制成。
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