[实用新型]一种应用于钕铁硼真空扩渗炉的抽真空系统

权利要求书

1.一种应用于钕铁硼真空扩渗炉的抽真空系统，其特征在于，包括分子泵(4)、罗茨泵(2)、旋片泵(1)、连通分子泵(4)和真空扩渗炉的第一挡板阀(5)、连通分子泵(4)和罗茨泵(2)的主管道(3)、设置在主管道(3)上的第三挡板阀(31)和第二真空规(32)、连通真空扩渗炉和罗茨泵(2)的过渡管道(6)、设置在过渡管道(6)上的第二挡板阀(61)、连通罗茨泵(2)和旋片泵(1)的第四挡板阀(11)以及用于测量真空扩渗炉内真空度的第一真空规(9)和第三真空规，还包括有抽真空控制系统(7)，所述抽真空控制系统(7)包括：

一级驱动模块，连接旋片泵(1)和第四挡板阀(11)，输出驱动旋片泵(1)工作的第一驱动信号和驱动第四挡板阀(11)与第二挡板阀(61)打开的第一开启信号；

二级驱动模块，连接第一真空规(9)、第三挡板阀(31)和罗茨泵(2)，用于接收第一真空规(9)输出的第一真空度检测信号，并在第一真空度检测信号大于等于第一真空度预设值时，输出驱动罗茨泵(2)工作的第二驱动信号和驱动第三挡板阀(31)打开的第二开启信号；

三级驱动模块，连接第二真空规(32)、第一挡板阀(5)、第二挡板阀(61)和分子泵(4)，用于接收第二真空规(32)输出的第二真空度检测信号，并在第二真空度检测信号大于等于第二真空度预设值时，输出驱动分子泵(4)工作的第三驱动信号，以及驱动第二挡板阀(61)闭合、驱动第一挡板阀(5)开启的第三开启信号。

2.根据权利要求1所述的一种应用于钕铁硼真空扩渗炉的抽真空系统，其特征在于，所述三级驱动模块还连接第一真空规(9)，在所述第一真空度检测信号和第二真空度检测信号大于等于第二真空度预设值时，所述三级驱动模块输出所述第三驱动信号和所述第三开启信号。

3.根据权利要求1所述的一种应用于钕铁硼真空扩渗炉的抽真空系统，其特征在于，所述第三真空规设置为电离规。

4.根据权利要求 1所述的一种应用于钕铁硼真空扩渗炉的抽真空系统，其特征在于，所述第一挡板阀(5)、第二挡板阀(61)和第三挡板阀(31)均为止回阀门。

5.根据权利要求1所述的一种应用于钕铁硼真空扩渗炉的抽真空系统，其特征在于，所述第一挡板阀(5)与分子泵(4)法兰连接。