[实用新型]一种冷却装置及含有冷却装置的中空粘接板有效
申请号: | 202021652224.8 | 申请日: | 2020-08-10 |
公开(公告)号: | CN212399979U | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 杨旭洲;贾瑞波;李斌;张利敏;张昌银;孙钊 | 申请(专利权)人: | 无锡中环应用材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D5/04 |
代理公司: | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人: | 聂启新 |
地址: | 214200 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 冷却 装置 含有 中空 粘接板 | ||
本实用新型涉及粘接板冷却技术领域,尤其是一种冷却装置及含有冷却装置的中空粘接板。其包括分水器,所述分水器可拆卸的连接在中空粘接板的一侧,分水器内设有储水腔,所述储水腔和中空粘接板中空内腔连通;所述分水器外表面连接进水接头,进水接头一端与储水腔连通。本实用新型能够在晶棒切割时对中空粘接板进行冷却,减少切割过程中产生的热量,提高了切割质量;中空粘接板和分水器采用套接或压紧连接的形式,方便了分水器的拆装;分水器和中空粘接板连接处设置密封圈进行密封,提高了冷却水的利用率,避免冷却水在分水器和中空粘接板连接处产生渗漏。
技术领域
本实用新型涉及粘接板冷却技术领域,尤其是一种冷却装置及含有冷却装置的中空粘接板。
背景技术
目前,金刚线切片机采用的是粘接板来粘接晶棒并进行切割,金刚线切割到粘接板的时候会产生一定热量,如果热量不及时带走的话对晶棒的切割会造成一定的影响,影响到晶棒的切割质量。
现有技术中,粘接板的中空结构能够起到一定的冷却作用,但是冷却效果有限,不能保证及时带走切割过程中产生的大量热量。
实用新型内容
本申请人针对上述现有生产技术中的缺点,提供一种结构合理的冷却装置及含有冷却装置的中空粘接板,能够在晶棒切割时对粘接板进行冷却,减少切割过程中产生的热量。
本实用新型所采用的技术方案如下:
一种冷却装置,包括分水器,所述分水器可拆卸的连接在中空粘接板的一侧,分水器内设有储水腔,所述储水腔和中空粘接板中空内腔连通;所述分水器外表面连接进水接头,进水接头一端与储水腔连通。
进一步的,进水接头另一端连接进水管,进水管连接在水源上,进水管上设有水泵。
进一步的,进水接头位于分水器长度方向的侧面上或者位于分水器顶部中心位置。
进一步的,分水器面向中空粘接板一侧端面设有套接槽,分水器的套接槽内套接中空粘接板。
进一步的,套接槽沿槽口边缘设有一圈分水密封圈。
进一步的,分水器面向中空粘接板端面设有长条形结构的分水通孔,分水通孔将储水腔和中空粘接板中空内腔连通。
进一步的,分水器面向中空粘接板端面设有多个分水窗口,多个分水窗口沿着分水器长度方向等距分布,多个分水窗口将储水腔和中空粘接板中空内腔连通。
进一步的,分水窗口沿边缘设有一圈窗口密封圈。
进一步的,分水器沿长度方向的两侧端面上分别固定连接安装杆一端,安装杆另一端穿过套管后通过螺纹连接锁紧螺母,安装杆另一端上套设压紧弹簧,压紧弹簧前后两端分别接触锁紧螺母和套管一端面,套管固定连接在固定板上,固定板通过连接件可拆卸的连接在切片机机台上。
一种含有冷却装置的中空粘接板,包括冷却装置,所述冷却装置包括至少一个,所述冷却装置可拆卸的连接在所述中空粘接板的四周,所述冷却装置的储水腔与所述中空粘接板的中空内腔连通。
本实用新型的有益效果如下:
本实用新型能够在晶棒切割时对中空粘接板进行冷却,减少切割过程中产生的热量,提高了切割质量;中空粘接板和分水器采用套接或压紧连接的形式,方便了分水器的拆装;分水器和中空粘接板连接处设置密封圈进行密封,提高了冷却水的利用率,避免冷却水在分水器和中空粘接板连接处产生渗漏。
附图说明
图1为本实用新型实施例一立体图。
图2为本实用新型中空粘接板横截面结构图。
图3为本实用新型实施例一中分水器结构图。
图4为本实用新型实施例二立体图。
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