[实用新型]一种便于清洗的研磨头结构

说明书

本实用新型涉及研磨头技术领域，具体涉及一种便于清洗的研磨头结构。包括：研磨主体、研磨头和自旋清洗装置，所述研磨主体底部开设有研磨槽，所述自旋清洗装置设置在研磨槽内，所述研磨头设置在自旋清洗装置下方且与研磨主体固定连接，所述自旋清洗装置包括：圆形盒体和密封组件，水管穿过研磨主体伸入圆形盒体内，圆形盒体通过密封组件与水管密封转动连接，所述圆形盒体侧面设有多个路径为弧线的喷水孔，多个喷水孔沿圆形盒体中轴线阵列设置。本实用新型的圆形盒体通过密封组件与水管密封转动连接，圆形盒体侧面设有多个路径为弧线的喷水孔，当水管进行高压供水时，壳体受到水压的作用会自旋转，能够无死角的冲刷研磨槽，达到冲刷干净的作用。

技术领域

本实用新型涉及研磨头技术领域，具体涉及一种便于清洗的研磨头结构。

背景技术

在各行各业中，很多产品的生产制造都需要进行研磨工序操作。研磨工序的好坏决定了产品的品质，因此，提高研磨的效果是目前研究的重点。传统的研磨清洗结构，对于晶圆研磨的研磨设备包括研磨头和处于研磨头底部的研磨清洗装置，对于研磨主体中的研磨槽无法做到清洗，现有技术中CN2018205622103的实用新型公开了一种从内部清洗的研磨头结构，对于该结构采用固定的管路对研磨槽内壁进行冲刷能够起到基本清洗的作用，但是该结构还存在一定缺点，例如，由于管路固定，冲刷时在路径范围内的杂质能够冲刷干净，在冲刷路径以外的杂质无法做到有效清除，因此有必要进行改良。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术的不足和缺陷，提供一种旋转清洗的研磨头结构。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种便于清洗的研磨头结构，包括：研磨主体、研磨头和自旋清洗装置，所述研磨主体底部开设有研磨槽，所述自旋清洗装置设置在研磨槽内，所述研磨头设置在自旋清洗装置下方且与研磨主体固定连接，所述自旋清洗装置包括：圆形盒体和密封组件，水管穿过研磨主体伸入圆形盒体内，圆形盒体通过密封组件与水管密封转动连接，所述圆形盒体侧面设有多个路径为弧线的喷水孔，多个喷水孔沿圆形盒体中轴线阵列设置。

具体的，所述水管在圆形盒体内的端部向外延伸有折板，所述密封组件包括：第一密封环、第二密封环、弹簧丝套、密封轴瓦和两个耐磨密封环，所述第一密封环、密封轴瓦、弹簧丝套、第二密封环在折板上方的盒体内由中心向外依次设置，两个耐磨密封环分别固定设置在第一密封环的上表面和下表面。

具体的，包括连接杆，连接杆竖直安装在研磨槽内，连接杆上端与研磨槽顶部的研磨主体固定连接，连接杆下端与研磨头固定连接。

具体的，包括连接杆，所述连接杆横放在研磨槽内，横杆一端与研磨头固定，横杆另一端与研磨主体固定。

具体的，所述自旋清洗装置和研磨头之间设有转动轴承。

本实用新型相比现有技术包括以下优点及有益效果：

(1)本实用新型的圆形盒体通过密封组件与水管密封转动连接，圆形盒体侧面设有多个路径为弧线的喷水孔，当水管进行高压供水时，壳体受到水压的作用会自旋转，能够无死角的冲刷研磨槽，达到冲刷干净的作用。

(2)本实用新型通过在自旋清洗装置和研磨头之间设有转动轴承能够使得自旋清洗装置更容易进行自旋清洗。

附图说明

图1为本实用新型的一种结构示意图。

图2为本实用新型的另一种结构示意图。

图3为本实用新型M结构的局部放大示意图。

图4为本实用新型A-A结构的剖视图。

具体实施方式

下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。