[实用新型]单晶炉的安全防护装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉的安全防护装置，涉及单晶炉设备技术领域，主要目的是提高单晶炉运行时的安全系数。本实用新型的主要技术方案为：单晶炉的安全防护装置，该装置包括：环形体和挡板；所述环形体设有环形孔，所述环形孔对应于观察窗，所述环形体可拆卸连接于观察窗的边缘，所述环形体设有滑槽，所述滑槽平行于观察窗；所述挡板滑动连接于所述滑槽，用于遮盖观察窗。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉设备技术领域，尤其涉及一种单晶炉的安全防护装置。

背景技术

单晶炉是直拉法制备硅单晶的关键技术装备，所制备的硅单晶主要用于集成电路元件和太阳能电池。面对行业需求，增大单炉投料量，提升单晶炉的单炉产量和效率，成为了行业的发展方向。

单晶炉主要包括机架、坩埚驱动装置、主炉室、翻板阀、副炉室、籽晶提升机构、液压驱动装置、真空系统、冲氩气系统及水冷系统。其中主炉室上部与翻板阀密封连接，副炉室放在翻板阀上，主炉室是单晶炉的心脏部位，且热场系统安装在主炉室内。单晶炉的尺寸随发展不断增大，保障安全是重中之重。

传统的单晶炉的炉盖上一般都设有观察窗，观察窗安装密封玻璃，单晶炉现有观察窗缺少防护，当炉台出现异常时，如停水，漏硅等现象引发安全事故时，炉内压力增大，可能导致观察窗破裂，造成安全隐患。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种单晶炉的安全防护装置，主要目的是提高单晶炉运行时的安全系数。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型提供了一种单晶炉的安全防护装置，该装置包括：环形体和挡板；

所述环形体设有环形孔，所述环形孔对应于观察窗，所述环形体可拆卸连接于观察窗的边缘，所述环形体设有滑槽，所述滑槽平行于观察窗；

所述挡板滑动连接于所述滑槽，用于遮盖观察窗。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

可选的，所述滑槽的相对内侧面分别设有凸块，所述挡板一端的相对侧分别连接于第一限位块，所述第一限位块顶接于所述凸块一侧面，所述挡板另一端的相对侧分别连接于第二限位块，所述第二限位块顶接于所述凸块另一侧面。

可选的，所述环形体包括第一环形体和第二环形体，所述第一环形体可拆卸连接于所述第二环形体，所述第二环形体可拆卸连接于观察窗的边缘，所述滑槽位于所述第一环形体和所述第二环形体之间。

可选的，所述凸块位于所述滑槽一端。

可选的，还包括挡块，所述挡块转动连接于所述滑槽一端的外边缘，所述挡块顶接于所述挡板的边缘，用于将所述挡板限制于所述滑槽内。

借由上述技术方案，本实用新型至少具有下列优点：

在日常巡检的过程中，操作人员需要观察单晶炉内情况时，将挡板拉出滑槽，使观察窗暴露出来；操作人员观察完毕，再将挡板推入滑槽，以使挡板长期遮盖观察窗，当观察窗冷却水停止循环换热或者单晶炉内压力增大等异常情况引起观察窗破裂，挡板避免炉内高温物质直接喷射而出，造成人员受伤等安全隐患。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种单晶炉的防护装置的俯视图；

图2为图1中A-A处的向视图；

图3为图1中B-B处的向视图；

图4为本实用新型实施例提供的第二环形体和挡板的位置关系图。

说明书附图中的附图标记包括：挡板1、环形体2、环形孔3、滑槽4、第一限位块5、第二限位块6、凸块7、第一环形体8、第二环形体9、第一通孔10、第二通孔11、第三通孔12、挡块13。