[实用新型]真空控制组件及镀膜设备有效
申请号: | 202021666439.5 | 申请日: | 2020-08-11 |
公开(公告)号: | CN212955336U | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 贾建涛;张要朋;汪传龙;李厚德;陈文兵;马丰停 | 申请(专利权)人: | 浙江旗滨节能玻璃有限公司;长兴旗滨节能玻璃有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C03C17/00 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 张志江 |
地址: | 312000 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 控制 组件 镀膜 设备 | ||
本实用新型公开一种真空控制组件及镀膜设备,其中,所述真空控制组件用于镀膜设备的真空腔体,所述真空控制组件包括:进出口腔室,所述进出口腔室与所述真空腔体相连通,所述进出口腔室上设置有出气孔;真空泵,设于所述进出口腔室外侧,所述真空泵的抽气管与所述出气孔相连通;以及加热器,设于所述进出口腔室表面,并靠近所述出气孔设置。本实用新型通过采用加热器设置在进出口腔室表面,使加热器能够对进出口腔室的出气孔部位进行加热,以使出气孔部位保持在预设温度,进而可以防止出气孔部位产生结冰而导致真空泵的抽气管堵塞的问题。
技术领域
本实用新型涉及镀膜设备领域,特别涉及一种真空控制组件及镀膜设备。
背景技术
镀膜是玻璃行业节能板块最为关键的一道工艺,该工艺技术直接影响了节能玻璃的功能及品质。真空腔体作为镀膜工序最核心设备,决定了生产镀膜玻璃的品质及产量。进出口腔室为真空腔体与大气过渡的腔室,其工作节拍直接影响了镀膜玻璃生产的节拍。随着进出口腔室抽气效率不断的提升,对进出口腔室泵抽气口也提出了更多的要求。真空泵连接进出口腔室,由于真空泵抽速的提升,瞬间通过真空泵的抽气口的气流量增加,且在低真空环境中,空气中的水汽极易在该位置结冰,导致泵口堵塞,从而影响镀膜线的生产节拍,甚至造成镀膜线回气处理的问题,引起较大的经济损失及耽误交期。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是提出一种真空控制组件及镀膜设备,旨在改善现有镀膜设备的进出口腔室的出气孔与真空泵连接部位容易出现结冰而导致堵塞的问题。
为实现上述目的,本实用新型提出的真空控制组件,用于镀膜设备的真空腔体,所述真空控制组件包括:
进出口腔室,所述进出口腔室与所述真空腔体相连通,所述进出口腔室上设置有出气孔;
真空泵,设于所述进出口腔室外侧,所述真空泵的抽气管与所述出气孔相连通;以及
加热器,设于所述进出口腔室表面,并靠近所述出气孔设置。
可选地,所述真空控制组件还包括:
温度传感器,所述温度传感器设于所述进出口腔室内,用于检测所述进出口腔室内部温度;以及
温度控制器,所述温度传感器、所述加热器以及所述真空泵分别与所述温度控制器电连接。
可选地,所述温度传感器靠近所述出气孔设置,并与所述加热器间隔设置。
可选地,所述加热器的数量为多个,多个所述加热器间隔设置。
可选地,所述真空控制组件还包括:
防护网模块,所述防护网模块盖设于所述出气孔上,所述加热器设于所述防护网模块上。
可选地,所述防护网模块设于所述进出口腔室的内侧。
可选地,所述加热器设于所述防护网模块背向所述出气孔的一侧。
可选地,所述防护网模块包括:
过滤网;以及
第一边框,所述第一边框沿所述过滤网的边缘设置,所述第一边框与所述进出口腔室相连接,用于将所述过滤网压紧在所述进出口腔室的壁面上,以使所述过滤网盖设于所述出气孔上,所述加热器与所述过滤网和/或所述第一边框相连接。
可选地,所述防护网模块还包括:
第二边框,所述第二边框沿所述过滤网边缘设置,所述过滤网的边缘嵌设于所述第一边框和所述第二边框之间,所述第二边框与所述进出口腔室的壁面相连接。
本实用新型在上述真空控制组件的基础上,提出一种镀膜设备,包括真空腔体和如上述所述的真空控制组件,所述真空控制组件的进出口腔室与所述真空腔体相连通。
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