[实用新型]一种用于动子座的散热装置及曝光机

权利要求书

1.一种用于动子座的散热装置，动子座设置在曝光机上，用于承载被曝光物体，其特征在于，所述散热装置包括连接座和水冷板，所述水冷板通过所述连接座设置于动子座的一侧，所述水冷板包括板体、设置于所述板体上的水冷槽及容置于所述水冷槽内的水冷管，所述水冷管包括至少一个进水口和至少一个出水口。

2.根据权利要求1所述的用于动子座的散热装置，其特征在于，所述连接座的一端与动子座相紧贴，所述连接座的另一端与水冷板相紧贴，所述水冷槽设置于所述水冷板与连接座相贴的一端上。

3.根据权利要求1所述的用于动子座的散热装置，其特征在于，动子座与所述连接座之间、所述连接座与所述水冷板之间可拆卸式连接。

4.根据权利要求1所述的用于动子座的散热装置，其特征在于，所述连接座为一端开口的框体。

5.根据权利要求1所述的用于动子座的散热装置，其特征在于，所述水冷槽为自板体的端部向下凹陷形成的凹槽。

6.根据权利要求1或5所述的用于动子座的散热装置，其特征在于，所述水冷管的形状与水冷槽在板体上的排布形状相对应。

7.根据权利要求6所述的用于动子座的散热装置，其特征在于，所述水冷槽包括水冷管入口、槽体和水冷管出口，所述槽体在板体上按S形分布。

8.根据权利要求7所述的用于动子座的散热装置，其特征在于，所述水冷管入口和水冷管出口设置于板体的同一侧。

9.根据权利要求1所述的用于动子座的散热装置，其特征在于，所述水冷管为金属材质或塑料软管，且所述水冷管内注入水或者其他冷却液。

10.一种曝光机，所述曝光机包括曝光设备和可相对所述曝光设备运动的动子座，所述动子座用于承载被曝光物体，其特征在于，所述曝光机还包括上述权利要求1～9任意一项所述的用于动子座的散热装置。