[实用新型]ITO平面靶材清洗固定装置有效
| 申请号： | 202021675947.X | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN213613021U | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 柯尚文;周传水;李隽;余永强 | 申请（专利权）人： | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司;中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 薛建强 |
| 地址： | 528137 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | ito 平面 清洗 固定 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种ITO平面靶材清洗固定装置，其特征在于，包括：
侧板(100)，所述侧板(100)采用两片且分列于两侧，所述侧板(100)上部设有手提孔(110)；
固定架(200)，所述固定架(200)采用两个且上下分层设置，所述固定架(200)包括横杆(210)、纵杆(220)，所述横杆(210)采用两根且相互平行，所述横杆(210)的两端分别与所述侧板(100)固定连接，所述纵杆(220)采用多根，所述纵杆(220)排列装于两根所述横杆(210)之间；
底杆(300)，所述底杆(300)采用两根且两端固定在侧板(100)上，两根所述底杆(300)位于下层的所述固定架(200)下方。
2.根据权利要求1所述的一种ITO平面靶材清洗固定装置，其特征在于，所述纵杆(220)上套有硅胶套。
3.根据权利要求1所述的一种ITO平面靶材清洗固定装置，其特征在于，所述侧板(100)采用钢材。
4.根据权利要求1所述的一种ITO平面靶材清洗固定装置，其特征在于，所述横杆(210)、所述纵杆(220)、所述底杆(300)为圆柱形且采用钢材，所述横杆(210)、所述纵杆(220)、所述底杆(300)的表面均包裹一层PVC塑料皮。
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