[实用新型]一种靶材组件有效
| 申请号： | 202021677102.4 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN214327865U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;董志清 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 组件 | ||
【权利要求书】：
1.一种靶材组件，其特征在于，所述靶材组件中靶材的溅射端面设置有花纹环；
所述花纹环中的花纹为网状花纹；
所述花纹环的外径等于所述靶材的外径；
所述花纹环的环宽为12.5-15mm；
所述花纹环中花纹的深度为0.15-0.2mm；
所述花纹环中花纹的大小为50TPI；
所述靶材组件中靶材的侧面还设置有花纹段；
所述花纹段中的花纹为网状花纹；
所述花纹段中花纹段的垂直宽度为3-3.5mm；
所述花纹段与所述花纹环相连接；
所述花纹段中花纹的深度为0.15-0.2mm。
2.如权利要求1所述的靶材组件，其特征在于，所述花纹段中花纹的大小为50TPI。
3.如权利要求1所述的靶材组件，其特征在于，所述靶材组件中的靶材包括钛靶材、铜靶材、钨靶材或钼靶材中的一种。
4.如权利要求1所述的靶材组件，其特征在于，所述靶材组件中的背板包括铜背板或铝背板。
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