[实用新型]清灰装置

说明书

本实用新型公开了一种清灰装置，涉及单晶炉设备技术领域，主要目的是提高单晶炉设备残留挥发物的清理效率。本实用新型的主要技术方案为：清灰装置，该装置包括：空气压缩机构和清理部；所述空气压缩机构包括第一输出端和第二输出端；所述清理部包括第一清灰单元和第二清灰单元，所述第一清灰单元包括第一声波清灰器、清理罐、集灰仓和真空机构，所述第一输出端、所述第一声波清灰器、所述清理罐、所述集灰仓和所述真空机构依次连接，所述第二清灰单元包括第二声波清灰器、连接管和对接法兰，所述第二输出端、所述第二声波清灰器、所述连接管和所述对接法兰依次连接。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉设备技术领域，尤其涉及一种清灰装置。

背景技术

对单晶炉排气管道和单晶炉滤芯中挥发物的清理是单晶制备的基础环节，是影响单晶品质及成品率的重要因素。目前在本行业中，主要通过手枪钻连接不绣钢软轴毛刷或金属杆包裹无尘布的方式对排气管道进行清理，清理时间长，排气管道死角位置不易清理干净；滤芯清理主要依靠人工取出进行敲打作业，清理周期长，挥发物无法收集。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种清灰装置，主要目的是提高单晶炉设备残留挥发物的清理效率。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型提供了一种清灰装置，该装置包括：空气压缩机构和清理部；

所述空气压缩机构包括第一输出端和第二输出端；

所述清理部包括第一清灰单元和第二清灰单元，所述第一清灰单元包括第一声波清灰器、清理罐、集灰仓和真空机构，所述第一输出端、所述第一声波清灰器、所述清理罐、所述集灰仓和所述真空机构依次连接，所述第二清灰单元包括第二声波清灰器、连接管和对接法兰，所述第二输出端、所述第二声波清灰器、所述连接管和所述对接法兰依次连接。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

可选的，所述第一清灰单元还包括进气管，所述清理罐的底壁设有进气孔，所述进气管的一端连接于所述进气孔，另一端连接于所述第一声波清灰器。

可选的，所述第一清灰单元还包括固定管，所述固定管设置于所述清理罐内部，所述固定管的管壁均布有多个通孔，所述固定管的下端对应于所述进气孔，所述清理罐的上端开口，所述开口盖合有盖体。

可选的，所述进气孔的数量为多个，所述进气管的一端面覆盖多个所述进气孔。

可选的，所述第一清灰单元还包括排气管，所述排气管的一端连接于所述清理罐的侧壁，另一端连接于所述集灰仓。

可选的，所述第一清灰单元还包括抽气管和管状滤芯，所述抽气管的一端连接于所述集灰仓，另一端连接于所述真空机构，所述管状滤芯的一端封闭，另一端对应于所述抽气管的一端。

可选的，还包括PLC控制器，所述PLC控制器分别电连接于空气压缩机构、第一声波清灰器、第二声波清灰器和真空机构。

可选的，还包括车架，所述空气压缩机构、所述清理罐、所述集灰仓、所述真空机构和所述PLC控制器分别固定连接于所述车架。

借由上述技术方案，本实用新型至少具有下列优点：

当需要清理单晶炉滤芯时，将单晶炉滤芯放入清理罐，依次启动空气压缩机构和第一声波清灰器。空气压缩机构产生压缩空气，压缩空气流经第一输出端流动至第一声波清灰器，第一声波清灰器产生声波，声波传递至清理罐内，使单晶炉滤芯吸附的挥发物颗粒振动，从而使挥发物脱离单晶炉滤芯。因为真空机构的抽气作用，产生自清理罐向集灰仓流动的气流，清理罐中的挥发物随该气流流动至集灰仓，使挥发物集中于集灰仓中。