[实用新型]一种MEMS微镜调试机台有效

专利信息
申请号: 202021678661.7 申请日: 2020-08-12
公开(公告)号: CN213081339U 公开(公告)日: 2021-04-30
发明(设计)人: 程进;徐乃涛;孙其梁;李宋泽 申请(专利权)人: 无锡微视传感科技有限公司
主分类号: B25H1/02 分类号: B25H1/02
代理公司: 北京伊诺未来知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11700 代理人: 杨群
地址: 214000 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 mems 调试 机台
【权利要求书】:

1.一种MEMS微镜调试机台,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)底壁四个拐角处固定连接有脚垫(2),所述底座(1)顶壁一侧中间位置开设有凹槽(3),所述底座(1)顶壁远离凹槽(3)一侧中间位置固定安装有计算机(11),所述底座(1)顶壁位于计算机(11)与凹槽(3)之间呈前后对称固定连接有安装杆(12),两个所述安装杆(12)之间设置有绕线筒(13),所述凹槽(3)靠近计算机(11)一侧侧壁中心位置固定安装有第一气缸(4),所述凹槽(3)内远离第一气缸(4)一侧滑动连接有固定块(5),所述固定块(5)顶壁固定连接有安装板(6),所述安装板(6)顶壁中心位置固定安装有第二气缸(7),所述第二气缸(7)上方中心位置输出端固定连接有第二活动轴(8),所述第二活动轴(8)顶壁固定连接有箱体(19),所述箱体(19)前侧壁设置有转盘(9),所述转盘(9)前侧壁下方固定安装有MEMS微镜(10)。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS微镜调试机台,其特征在于:两个所述安装杆(12)上方相向一侧侧壁中间位置开设有安装槽(14),所述安装槽(14)内转动连接有转轴(15),两个所述转轴(15)相向一侧侧壁固定连接有绕线筒(13)对应一侧侧壁中心位置。

3.根据权利要求1所述的一种MEMS微镜调试机台,其特征在于:所述计算机(11)输出端通过传输线(16)连接有MEMS微镜(10)的输入端,所述传输线(16)绕接有绕线筒(13)。

4.根据权利要求1所述的一种MEMS微镜调试机台,其特征在于:所述计算机(11)远离绕线筒(13)一侧电力输入端固定连接有供电线(20)。

5.根据权利要求1所述的一种MEMS微镜调试机台,其特征在于:所述第一气缸(4)远离计算机(11)一侧中心位置输出端固定连接有第一活动轴(17),所述第一活动轴(17)远离第一气缸(4)一侧侧壁固定连接有固定块(5)对应一侧侧壁中心位置。

6.根据权利要求1所述的一种MEMS微镜调试机台,其特征在于:所述固定块(5)底壁固定连接有导向滑块(18),所述导向滑块(18)底壁滑动连接有凹槽(3)内底壁,所述转盘(9)后侧壁中心位置固定连接有设置于箱体(19)前侧壁中心位置的电机输出端。

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